Three-quarter view of ePTFE membrane ULPA filter for semiconductor cleanrooms

مرشحات الهواء والترشيح الكيميائي

ePTFE غشاء فلتر ULPA

لوحة غشاء ePTFE نظيفة للغاية تقدم خيارات كفاءة U15 أو U16 ، وانخفاض الضغط وانخفاض انبعاثات الأيونية أو الألياف لعمليات أشباه الموصلات.

U15-U16 ePTFE وسائل الإعلام
طبقة الترشيح خالية من البورون
انخفاض الضغط انخفاض
انخفاض انبعاثات البناء

طلب عرض أسعار تصفح المنتجات

مقدمة المنتج

يستخدم مرشح ULPA غشاء ePTFE غشاءًا من البوليเทترفلوروفلورايثيلين الموسع مغلفًا بدعم مستقر ويتشكل في طيات صغيرة خاضعة للتحكم عن كثب.تعمل طبقة الترشيح غير البوروسيليكات على تقليل إلقاء الألياف وتجنب البورون من الوسائط الزجاجية التقليدية ، في حين أن هيكل الغشاء الرقيق يمكن أن يوفر مقاومة أقل بكفاءة عالية للغاية.الفواصل المنخفضة التفريغ والوعاء البولي يوريثان تأمين الحزمة في إطار الألومنيوم المؤكسد.تتكامل الإصدارات الهلامية أو الحشية أو الحافة السكينية مع أسقف الغرف النظيفة شبه الموصلة ووحدات مرشح المروحة والبيئات المصغرة لأدوات العملية.

الخصائص الرئيسية

يدعم غشاء PTFE الموسع تكوينات U15 أو U16 دون سطح ألياف البوروسيليكات المكشوفة.

توفر طبقة الغشاء الرقيقة ملفًا تعريفًا مواتٍ لانخفاض الضغط لأنظمة الغرف النظيفة ذات إعادة التدوير العالية.

تقاوم الوسائط الكرهة للماء التعرض القصير للرطوبة والعديد من المواد الكيميائية الروتينية لإزالة التلوث في الغرف النظيفة.

تدعم حزمة منخفضة التفجير ، وتحد مواد الأواني والإطار من الانبعاثات الجزيئية التي يمكن تجنبها بالقرب من أدوات العملية.

مخاوف المنتج للعملاء

تحتاج عمليات أشباه الموصلات النظيفة للغاية إلى التحكم في الجسيمات من الفئة U دون إضافة البورون أو الألياف أو مقاومة مروحة إعادة التدوير المفرطة.

تساهم وسائل الإعلام البورسيليكات في المواد الأيونية غير المرغوب فيها بالقرب من عملية حساسة.تتجنب طبقة الترشيح ePTFE وسائل الإعلام التقليدية من الألياف الزجاجية في سطح التقاط النشط.

تستهلك كفاءة الفئة U الكثير من الضغط في غرفة نظيفة معاد تدويرها باستمرار.يقلل الغشاء عالي المسامية ومنطقة الطوي الأمثل من المقاومة عند سرعة الوجه المحددة.

تؤثر الألياف المطلقة من وجه المنبع على البصريات أو أسطح الرقاقة.يقدم غشاء غير ليفي مدعوم سطح ترشيح نظيف في مجرى المنبع.

تصفية مواد البناء تضيف المواد العضوية العضوية العضوية العضوية إلى بيئة عملية منخفضة التفريغ.تعمل الفواصل المختارة ومكونات الأواني والإطار على تقليل انبعاثات المواد التي يمكن تجنبها.

تطبيقات نموذجية

تصنيع أشباه الموصلات المتقدمةخليج عملية التصوير الحجريتصنيع OLED ولوح مسطحالجمعية البصرية الدقيقةمعدات منخفضة التفجير البيئات الصغيرة

المعلمات الفنية

وترد أدناه نطاقات البناء التمثيلية لألواح ULPA غشاء ePTFE.

المواد الأساسية	مدعومة توسيع غشاء PTFE وسائل الإعلام ULPA مع فاصل البوليمر منخفضة التفريغ
سمك اللوحة	65-150 مم عمق الإطار الألومنيوم الإجمالي
العرض الفعال	305-610 مم عرض الوجه الاسمي
الحد الأقصى الطول	ما يصل إلى 1220 مم طول الوجه الاسمي
الصلب يواجه سمك	0.4-0.6 ملم منخفضة الصرف الفولاذ المقاوم للصدأ أو المغلفة شبكة واقية
الكثافة الأساسية	ما يقرب من 20-35 كجم / م3 مكافئ كثافة حزمة غشاء ePTFE
الموصلية الحرارية	ما يقرب من 0.030-0.040 واط / (m·K) لحزمة الغشاء المدعومة الجافة
إنهاء السطح	نظيفة الألومنيوم الطبيعي بأكسيد مع أشباه الموصلات الصف منخفضة الصرف الواجهة
نوع المشترك	هلام البولي يوريثين ، طوقا الخلية المغلقة أو ختم محيط حافة السكين مقذوف
التخصيص	متوفر على أساس التطبيق المقصود وبيئة التشغيل.

الخيارات المتاحة

كفاءة الغشاء U15 أو U16عمق الإطار 65 مم أو 90 مم أو 150 ممهلام ، طوقا أو ختم حافة السكينحزمة مكونات أشباه الموصلات منخفضة التفريغ

التخطيط لمواصفات فلتر ULPA غشاء ePTFE؟

أرسل لنا الأبعاد الخاصة بك، شروط التثبيت، أهداف الأداء والتشطيب السطحي المطلوب.

تحدث مع فريقنا