Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Bộ lọc không khí và lọc hóa học
Bộ lọc màng ePTFE ULPA
Một tấm màng ePTFE siêu sạch cung cấp các tùy chọn hiệu quả U15 hoặc U16, giảm áp suất thấp và giảm phát thải ion hoặc sợi cho các quy trình bán dẫn.
- Phương tiện truyền thông ePTFE U15-U16
- Lớp lọc không có boron
- Thả áp suất thấp
- Xây dựng khí thải thấp
Giới thiệu Sản phẩm
Bộ lọc ULPA màng ePTFE sử dụng màng polytetrafluoroethylene mở rộng được nhiều lớp để hỗ trợ ổn định và hình thành thành các nếp gấp nhỏ được kiểm soát chặt chẽ. Lớp lọc không borosilicate làm giảm sự rụng sợi và tránh boron từ phương tiện thủy tinh thông thường, trong khi cấu trúc màng mỏng có thể cung cấp sức đề kháng thấp hơn ở hiệu quả siêu cao. Máy tách khí thải thấp và nồi polyurethane đảm bảo gói trong khung nhôm anodized. Gel, miếng đệm hoặc các phiên bản cạnh dao tích hợp với trần phòng sạch bán dẫn, bộ lọc quạt và môi trường mini công cụ xử lý.
Các tính năng chính
Lớp màng mỏng cung cấp hồ sơ giảm áp thuận lợi cho các hệ thống phòng sạch tuần hoàn cao.
Phương tiện kỵ nước chống lại sự tiếp xúc với độ ẩm ngắn và nhiều hóa chất khử ô nhiễm phòng sạch thông thường.
Gói khí thải thấp hỗ trợ, vật liệu đóng nồi và khung hạn chế phát thải phân tử có thể tránh được gần các công cụ xử lý.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Quá trình bán dẫn siêu sạch cần kiểm soát hạt lớp U mà không thêm boron, sợi hoặc kháng quạt tuần hoàn quá mức.
Phương tiện Borosilicate đóng góp vật liệu ion không mong muốn gần quá trình nhạy cảm.Lớp lọc ePTFE tránh phương tiện truyền thông sợi thủy tinh trong bề mặt bắt hoạt động.
Hiệu quả lớp U tiêu thụ quá nhiều áp lực trong một phòng sạch được tuần hoàn liên tục.Màng có độ xốp cao và khu vực nếp gấp tối ưu làm giảm sức đề kháng ở vận tốc mặt được chọn.
Các sợi được giải phóng từ mặt hạ lưu ảnh hưởng đến quang học hoặc bề mặt wafer.Một màng không sợi được hỗ trợ trình bày một bề mặt lọc hạ lưu sạch.
Vật liệu xây dựng lọc thêm VOCs vào môi trường quá trình thải khí thấp.Chọn bộ tách, chậu và các thành phần khung giảm thiểu phát thải vật liệu có thể tránh được.
Các ứng dụng điển hình
Sản xuất chất bán dẫn tiên tiếnQuá trình quang khắc baySản xuất OLED và tấm phẳngLắp ráp quang học chính xácThiết bị khí thải thấp môi trường mini
Thông số kỹ thuật
Phạm vi xây dựng đại diện cho tấm ULPA màng ePTFE được hiển thị dưới đây.
| Vật liệu lõi | Hỗ trợ môi trường màng PTFE mở rộng ULPA với bộ tách polymer thải khí thấp |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 65-150 mm tổng chiều sâu khung nhôm |
| Chiều rộng hiệu quả | Chiều rộng mặt danh nghĩa 305 - 610 mm |
| Chiều dài tối đa | Chiều dài mặt danh nghĩa lên đến 1220 mm |
| Thép đối mặt với độ dày | 0,4 - 0,6 mm thép không gỉ hoặc lưới bảo vệ tráng thấp |
| Mật độ lõi | Mật độ bao bì màng ePTFE tương đương 20-35 kg / m3 |
| Độ dẫn nhiệt | Khoảng 0,030- 0,040 W / (m · K) cho gói màng hỗ trợ khô |
| Kết thúc bề mặt | Nhôm anodized tự nhiên sạch với mặt bảo vệ thấp lớp bán dẫn |
| Loại khớp nối | Gel Polyurethane, miếng đệm kín hoặc con dấu chu vi cạnh dao ép đùn |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Hiệu quả màng U15 hoặc U16Độ sâu khung 65 mm, 90 mm hoặc 150 mmGel, miếng đệm hoặc con dấu cạnh daoGói thành phần bán dẫn khí thải thấp
Lập kế hoạch đặc tả bộ lọc ULPA màng ePTFE?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
