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Filtres à air et filtration chimique
ePTFE
Un panneau à membrane ePTFE ultra-propre offrant des options d'efficacité U15 ou U16, une faible chute de pression et une réduction des émissions d'ions ou de fibres pour les processus de semi-conducteurs.
par
- Médias ePTFE U15 - U16
- Couche de filtration sans bore
- Basse pression Drop
- Construction à faible dégazage
Introduction de produit
Le filtre ULPA à membrane ePTFE utilise une membrane en polytétrafluoroéthylène étendue laminée sur un support stable et formée en mini-plets étroitement contrôlés. La couche de filtration non borosilicate réduit la perte de fibres et évite le bore des milieux en verre conventionnels, tandis que la structure à membrane mince peut offrir une résistance inférieure à un rendement ultra-haute. Des séparateurs à faible dégazage et des pots en polyuréthane sécurisent l'emballage dans un cadre en aluminium anodisé. Les versions gel, joints ou tranchant s'intègrent aux plafonds de salle blanche semi-conductrice, aux unités de filtre à ventilateur et aux mini-environnements d'outils de processus.
Key Features
La couche de membrane mince fournit un profil de chute de pression favorable pour les systèmes de salle blanche à recirculation élevée.
Les milieux hydrophobes résistent à une brève exposition à l'humidité et à de nombreux produits chimiques de décontamination de routine dans les salles blanches. par
Les supports d'emballage à faible dégazage, les matériaux de pot et de cadre limitent les émissions moléculaires évitables à proximité des outils de processus. par
Préoccupations du client produit
Les procédés de semi-conducteurs ultra propres nécessitent un contrôle des particules de classe U sans ajouter de bore, de fibres ou de résistance excessive au ventilateur de recirculation.
Les milieux borosilicates contribuent à des matériaux ioniques indésirables à proximité d'un processus sensible.La couche de filtration ePTFE évite les milieux en fibre de verre conventionnels dans la surface de capture active.
L'efficacité de la classe U consomme trop de pression dans une salle blanche à recyclage continu.
parLa membrane à haute porosité et la zone de pliage optimisée réduisent la résistance à la vitesse de face sélectionnée.
par
Les fibres libérées de la face en aval affectent les optiques ou les surfaces de la plaquette.Une membrane non fibreuse supportée présente une surface de filtration propre en aval.
Les matériaux de construction des filtres ajoutent des COV à un environnement de processus à faible dégazage.Les séparateurs, les composants de pot et de cadre sélectionnés minimisent les émissions de matériaux évitables.
Les applications typiques
Fabrication de semi-conducteurs avancésProcessus de photolithographie Bays
parOLED et fabrication de panneaux platsAssemblage optique de précision
parMini-environnements équipements à faible dégazage
par
Paramètres techniques
Les gammes de construction représentatives pour les panneaux ULPA à membrane ePTFE sont présentées ci-dessous.
| Matériaux de base | Médias ULPA à membrane en PTFE élargie supportés avec séparateurs de polymère à faible dégazage |
|---|---|
| Panneau épaisseur | 65 - 150 mm de profondeur totale du cadre en aluminium par |
| Largeur effective | 305 - 610 mm Largeur nominale du visage |
| Longueur maximale | Jusqu'à 1220 mm de longueur nominale du visage |
| Acier face épaisseur | 0,4 - 0,6 mm en acier inoxydable à faible coulée ou grille de protection enduite par |
| Densité Core | Densité d'emballage de membrane ePTFE équivalente d'environ 20 - 35 kg / m3 par |
| Conductivité thermique | Environ 0,030 - 0,040 W / (m · K) pour l'emballage à membrane supportée à sec |
| surface finie | Aluminium anodisé naturel propre avec protecteurs faciaux à faible coulée de qualité semi-conductrice |
| Type joint | Gel de polyuréthane, joint à cellules fermées ou joint de périmètre extrudé à tranchant de couteau |
| Customisation | Disponible en fonction de l'application prévue et de l'environnement d'exploitation. |
Options disponibles
Efficacité de membrane U15 ou U1665 mm, 90 mm ou 150 mm de profondeur de cadreGel, joint ou joint à tranchant de couteauPackage de composants semi-conducteurs à faible dégazage
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