ภาษาอังกฤษ
ภาษาเยอรมัน
ภาษาอาหรับ
ฝรั่งเศส
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
ภาษามาเลย์
ภาษาโปรตุเกส
ภาษารัสเซีย
ภาษาสเปน
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
เครื่องกรองอากาศและสารเคมีกรอง
ePTFE เมมเบรน ULPA ตัวกรอง
An ultra-clean ePTFE membrane panel offering U15 or U16 efficiency options, low pressure drop and reduced ionic or fibre emissions for semiconductor processes.
- U15–U16 ePTFE Media
- Boron-Free Filtration Layer
- Low Pressure Drop
- Low-Outgassing Construction
การแนะนําสินค้า
The ePTFE membrane ULPA filter uses an expanded-polytetrafluoroethylene membrane laminated to a stable support and formed into closely controlled mini-pleats. The non-borosilicate filtration layer reduces fibre shedding and avoids boron from conventional glass media, while the thin membrane structure can deliver lower resistance at ultra-high efficiency. Low-outgassing separators and polyurethane potting secure the pack in an anodized-aluminium frame. Gel, gasket or knife-edge versions integrate with semiconductor cleanroom ceilings, fan filter units and process-tool mini-environments.
คุณสมบัติที่สําคัญ
The thin membrane layer provides a favorable pressure-drop profile for high-recirculation cleanroom systems.
Hydrophobic media resists brief moisture exposure and many routine cleanroom decontamination chemicals.
Low-outgassing pack supports, potting and frame materials limit avoidable molecular emissions near process tools.
ความกังวลของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์
Ultra-clean semiconductor processes need U-class particle control without adding boron, fibres or excessive recirculation-fan resistance.
Borosilicate media contributes unwanted ionic material near a sensitive process.The ePTFE filtration layer avoids conventional glass-fibre media in the active capture surface.
U-class efficiency consumes too much pressure in a continuously recirculated cleanroom.The high-porosity membrane and optimized pleat area reduce resistance at the selected face velocity.
Fibres released from the downstream face affect optics or wafer surfaces.A supported non-fibrous membrane presents a clean downstream filtration surface.
Filter construction materials add VOCs to a low-outgassing process environment.Selected separators, potting and frame components minimize avoidable material emissions.
การใช้งานทั่วไป
Advanced semiconductor fabricationPhotolithography process baysOLED and flat-panel manufacturingPrecision optics assemblyLow-outgassing equipment mini-environments
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
Representative construction ranges for ePTFE membrane ULPA panels are shown below.
| วัสดุหลัก | Supported expanded-PTFE membrane ULPA media with low-outgassing polymer separators |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 65–150 mm overall aluminium-frame depth |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | 305–610 mm nominal face width |
| ความยาวสูงสุด | Up to 1220 mm nominal face length |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 0.4–0.6 mm low-shedding stainless-steel or coated protective grid |
| ความหนาแน่นหลัก | Approximately 20–35 kg/m³ equivalent ePTFE membrane-pack density |
| การนําความร้อน | Approximately 0.030–0.040 W/(m·K) for the dry supported membrane pack |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | Clean natural-anodized aluminium with semiconductor-grade low-shedding faceguards |
| ประเภทร่วม | Polyurethane gel, closed-cell gasket or extruded knife-edge perimeter seal |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
U15 or U16 membrane efficiency65 mm, 90 mm or 150 mm frame depthGel, gasket or knife-edge sealLow-outgassing semiconductor component package
Planning a ePTFE Membrane ULPA Filter specification?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
