Semiconductor mini-environment in complete three-quarter front view

Endüstriye Özel Temiz Oda Ekipmanları

Yarı İletken Mini-Çevre

Hassas yarı iletken taşıma veya denetim işlemleri etrafında yerel bir temiz hava bölgesi oluşturan kompakt bir süreç muhafazası.

Yerel HEPA hava akışı
Şeffaf Process Access
Düşük dökülme yapımı
Yapılandırılabilir Araç Arabirimi

Alıntı isteği Browse ürünleri

Ürün tanıtımı

Yarı iletken mini ortam, anodized alüminyum çerçeve, açık muhafaza panelleri, üstü fan-filtre modülü ve temizlenebilir paslanmaz bir çalışma güvertesini birleştirir. Korumalı süreç bölgesini çevredeki oda trafiğinden ayırırken doğrudan görünürlük ve kontrol edilen operatör erişimini korur. Servis panelleri, hizmet penetrasyonları ve ekipman arabirimleri, kurulu araç, wafer handler veya muayene armatürünün etrafında düzenlenebilir.

Ana Özellikler

Üstteki filtrelenmiş hava akışı korunan çalışma alanını sürekli süpürürür.

Açık paneller, kontrolsüz oda hava girişini sınırlandırırken süreç görünürlüğünü korur.

Pürüzsüz metal çalışma yüzeyleri ve düşük dökülme çerçeve bileşenleri rutin temizliği destekler.

Modüler erişim, kontroller ve hizmet penetrasyonları kapalı süreç ekipmanlarına uyum sağlar.

Müşteri Ürün Sorunları

Yerelleştirilmiş wafer operasyonları, tüm bir üretim bölgesini aynı katı koşullara kapatmadan istikrarlı temizliğe ihtiyaç duyar.

Oda trafiği, parçacıkları açık bir wafer taşıma adımına doğru taşıyabilir.Filtre edilmiş dikey hava akışı bölgesi ve fiziksel muhafaza kritik süreç alanını korur.

Kapam korumalar ekipman ve malzeme durumunu gözlemlemek zorlaştırır.Açık erişim panelleri, muhafaza açılmadan birden fazla taraftan görünürlüğü korur.

Sabit bir muhafaza araç servisi ve yardımcı bağlantıları ile çelişebilir.Modüler çerçeveleme, servis kapıları, çıkarılabilir paneller ve penetrasyonların gerçek araç düzeni izlemesine izin verir.

Geniş gölgeler ve erişilemez köşeler temizlik denetimini karmaşıklaştırır.Pürüzsüz çalışma yüzeyleri ve açık, görünür iç düzen, gizli kalıntı tuzaklarını azaltır.

Tipik uygulamalar

Wafer İnceleme ve MetrolojiYarı iletken montaj operasyonlarıHassas substrate taşımaAraç yükleme ve süreç izolasyonu

Teknik parametreler

Modüler bir yarı iletken mini ortamı için tipik yapı değerleri aşağıda listelenmiştir.

Temel malzemeler	Açık polikarbonat panelleri ve paslanmaz çelik çalışma yüzeylerine sahip anodized alüminyum çerçeve
Panel kalınlığı	6-10 mm şeffaf kaplama panelleri
Effective Width (Etkili Genişlik)	1200-2400 mm süreç muhafaza genişliği
Maksimum uzunluk	3000 mm 'ye kadar modüler muhafaza uzunluğu
Çelik yüz yüze kalınlığı	1.0-1.5 mm paslanmaz çelik çalışma ve dolap panelleri
Core Density (Çekirdek Yoğunluğu)	Alüminyum çerçeveleri için 2700 kg / m3 ve paslanmaz bileşenler için 7850-8000 kg / m3
Termal İletkenlik	Paslanmaz çalışma yüzeyleri için 14-17 W / (m·K)
Yüzey bitirme	Doğal anodized alüminyum, açık cam ve fırçalanmış paslanmaz çelik
Ortak tip	Çıkarılabilir erişim panelleri ile cıvata modüler ekstrüzyon eklemleri
Customization (Özelleşme)	Kullanılan uygulama ve çalışma ortamına göre kullanılabilir.

Mevcut Seçenekler

HEPA veya ULPA terminal filtrasyonuKaydırma veya menteşeli erişim panelleriİyonlaşma ve görev aydınlatmasıAraç özelliği yararlı penetrations

Yarı İletken Mini-Çevre özelliklerini mi planlıyorsunuz?

Bize boyutlarınızı, montaj koşullarınızı, performans hedeflerinizi ve gerekli yüzey kaplamalarınızı gönderin.

Ekibimizle konuşun