Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Môi trường bán dẫn Mini
A compact process enclosure that creates a localized clean-air zone around sensitive semiconductor handling or inspection operations.
- Localized HEPA Airflow
- Transparent Process Access
- Low-Shedding Construction
- Configurable Tool Interface
Giới thiệu Sản phẩm
The semiconductor mini-environment combines an anodized aluminum frame, clear enclosure panels, an overhead fan-filter module and a cleanable stainless work deck. It separates the protected process zone from surrounding room traffic while preserving direct visibility and controlled operator access. Service panels, utility penetrations and equipment interfaces can be arranged around the installed tool, wafer handler or inspection fixture.
Các tính năng chính
Clear panels maintain process visibility while limiting uncontrolled room-air entry.
Smooth metal work surfaces and low-shedding frame components support routine cleaning.
Modular access, controls and utility penetrations adapt to the enclosed process equipment.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Localized wafer operations need stable cleanliness without enclosing an entire production bay to the same stringent conditions.
Room traffic can carry particles toward an exposed wafer-handling step.A filtered vertical airflow zone and physical enclosure shield the critical process area.
Opaque guards make it difficult to observe equipment and material status.Clear access panels preserve visibility from multiple sides without opening the enclosure.
A fixed enclosure can conflict with tool service and utility connections.Modular framing allows service doors, removable panels and penetrations to follow the actual tool layout.
Broad shadows and inaccessible corners complicate cleaning inspection.Smooth work surfaces and an open, visible internal layout reduce hidden residue traps.
Các ứng dụng điển hình
Wafer inspection and metrologySemiconductor assembly operationsSensitive substrate handlingTool loading and process isolation
Thông số kỹ thuật
Typical construction values for a modular semiconductor mini-environment are listed below.
| Vật liệu lõi | Anodized aluminum frame with clear polycarbonate panels and stainless steel work surfaces |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 6-10 Tấm vỏ bọc trong suốt mm |
| Chiều rộng hiệu quả | 1200-2400 mm process enclosure width |
| Chiều dài tối đa | Up to 3000 mm modular enclosure length |
| Thép đối mặt với độ dày | 1.0-1.5 mm stainless steel work and cabinet panels |
| Mật độ lõi | 2700 kg/m³ for aluminum framing and 7850-8000 kg/m³ for stainless components |
| Độ dẫn nhiệt | 14-17 W/(m·K) for stainless work surfaces |
| Kết thúc bề mặt | Natural anodized aluminum, clear glazing and brushed stainless steel |
| Loại khớp nối | Bolted modular extrusion joints with gasketed removable access panels |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
HEPA or ULPA terminal filtrationSliding or hinged access panelsIonization and task lightingTool-specific utility penetrations
Planning a Semiconductor Mini-Environment specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
