Semiconductor mini-environment in complete three-quarter front view

Peralatan Bilik Bersih Spesifik Industri

Semikonduktor Mini-Environment

Sebuah kandang proses padat yang mewujudkan zon udara bersih tempatan di sekitar pengendalian semikonduktor sensitif atau operasi pemeriksaan.

Aliran Udara HEPA yang Ditempatan
Akses Proses Telus
Pembinaan Rendah-Shedding
Antara muka alat yang boleh dikonfigurasi

Permintaan sebut harga Semak imbas produk

Pengenalan Produk

Persekitaran mini semikonduktor menggabungkan bingkai aluminium anodized, panel kandang yang jelas, modul penapis kipas overhead dan dek kerja tahan karat yang boleh dibersihkan. Ia memisahkan zon proses yang dilindungi daripada trafik bilik sekitar sambil mengekalkan penglihatan langsung dan akses pengendali terkawal. Panel perkhidmatan, penembusan utiliti dan antara muka peralatan boleh diatur di sekitar alat yang dipasang, pengendali wafer atau perlawanan pemeriksaan.

Ciri-ciri Utama

Aliran udara yang ditapis secara overhead terus menyapu zon kerja yang dilindungi.

Panel yang jelas mengekalkan penglihatan proses sambil menghadkan kemasukan udara bilik yang tidak terkawal.

Permukaan kerja logam licin dan komponen bingkai yang rendah menumpahkan menyokong pembersihan rutin.

Akses modular, kawalan dan penembusan utiliti menyesuaikan diri dengan peralatan proses yang tertutup.

Kebimbangan Produk Pelanggan

Operasi wafer tempatan memerlukan kebersihan yang stabil tanpa menyelundupkan keseluruhan teluk pengeluaran kepada syarat-syarat ketat yang sama.

Lalu lintas bilik boleh membawa zarah ke arah langkah pengendalian wafer yang terdedah.Zon aliran udara menegak yang ditapis dan kandung fizikal melindungi kawasan proses kritikal.

Penjaga buram menjadikannya sukar untuk memerhatikan status peralatan dan bahan.Panel akses yang jelas mengekalkan penglihatan dari pelbagai sisi tanpa membuka kandang.

Kotak tetap boleh bercanggah dengan sambungan perkhidmatan alat dan utiliti.Bingkai modular membolehkan pintu perkhidmatan, panel yang boleh ditanggalkan dan penembusan untuk mengikuti susun atur alat sebenar.

Bayang-bayang yang luas dan sudut-sudut yang tidak boleh diakses rumit pemeriksaan pembersihan.Permukaan kerja yang licin dan susun atur dalaman yang terbuka dan kelihatan mengurangkan perangkap sisa tersembunyi.

Permohonan yang biasa

Pemeriksaan wafer dan metrologiOperasi pemasangan semikonduktorPengendalian substrat sensitifPemuatan alat dan proses pengasingan

Parameter teknikal

Nilai pembinaan tipikal untuk persekitaran mini semikonduktor modular disenaraikan di bawah.

Bahan Teras	Bingkai aluminium anodized dengan panel polikarbonat yang jelas dan permukaan kerja keluli tahan karat
Ketebalan Panel	6-10 Panel kandang telus mm
Lebar berkesan	1200-2400 mm proses kandang lebar
Panjang maksimum	Sehingga panjang kandang modular 3000 mm
Keluli Menghadapi Ketebalan	1.0-1.5 mm keluli tahan karat kerja dan panel kabinet
Ketumpatan teras	2700 kg / m3 untuk bingkai aluminium dan 7850-8000 kg / m3 untuk komponen tahan karat
Kekonduksian Terma	14-17 W / (m·K) untuk permukaan kerja tahan karat
Kemasan permukaan	Aluminium anodized semulajadi, kaca yang jelas dan keluli tahan karat yang disikat
Jenis Bersatu	Sendi penyemperitan modular dengan panel akses yang boleh ditanggalkan
Penyesuaian	Boleh didapati berdasarkan aplikasi yang dimaksudkan dan persekitaran operasi.

Pilihan yang boleh didapati

Penapisan terminal HEPA atau ULPAPanel akses gelongsor atau engselPengion dan pencahayaan tugasPenembusan utiliti khusus alat

Merancang spesifikasi Semikonduktor Mini-Environment?

Hantarkan kepada kami dimensi anda, syarat pemasangan, sasaran prestasi dan kemasan permukaan yang diperlukan.

Berbincang dengan pasukan kami