English
Немецкий
Арабский язык
Французский
Индонезийский
Японский язык
Корейский
Японский
Португальский
Русский языкТекущий
Испанский язык
Тайский
Турецкий
Вьетнамский язык
Оборудование для чистых помещений
Шкаф для хранения пластин
Заключенный многокамерный шкаф, который хранит ящики для пластин в чистой, сухой и видимой среде с настройкой управления очисткой азота.
- Запечатанное хранение пластин
- Контролируемая очистка азота
- Независимые чистые палаты
- Совместимость 200 мм и 300 мм
Введение продукции
Шкаф для хранения пластин расположен вокруг герметичных прозрачных отсеков, регулируемых стеллок и общей системы распределения сухого газа.Каждая камера обеспечивает прямую визуальную проверку инвентарных запасов, ограничивая воздействие других хранимых партий при открытии одной двери.Дверные рамки из нержавеющей стали, защечки сжатия и очистимые внутренние поверхности поддерживают помещения для хранения полупроводников, где необходимо контролировать влажность, частицы и дисциплину обработки.
Основные характеристики
Распределительный пленум доставляет сухой азот в шкаф через контролируемые впускные соединения.
Прозрачные варианты панелей с статическим рассеиванием улучшают видимость при поддержке методов электростатического управления.
Регулируемые полки размещают обычные форматы лот-коробки для пластин размером 200 мм и 300 мм.
Обеспокоенность клиентов продуктами
Хранимые лоты пластин нуждаются в защите от влажности окружающей среды и частиц, не делая идентификацию или извлечение излишне сложными.
Открытие большого общего шкафа подвергает каждый хранимый лот комнатному воздуху.Индивидуально герметичные отсеки изолируют доступный ящик для пластин от смежных мест хранения.
Неравномерный поток очистки приводит к замедлению достижения требуемой влажности в некоторых частях кабинета.Выделенный распределительный пленум и входы камеры способствуют постоянной доставке сухого газа.
Операторы не могут подтвердить инвентарные запасы без неоднократного открытия непрозрачных дверей.Прозрачные панели камеры позволяют быстрые визуальные проверки, пока отсек остается закрытым.
Фиксированное расстояние между полками теряет емкость при изменении форматов ящиков.Регулируемые чистые полки можно разместить вокруг выбранных контейнеров размером 200 или 300 мм.
Типичные приложения
Буферная система для полупроводниковых пластинХранение ящиков для предпроцессорной пластинкиМетрология и области контроляСухое хранение между этапами производства
Технические параметры
Типичные конструктивные значения для многокамерного шкафа для хранения пластин приведены ниже.
| Основной материал | Рама из нержавеющей стали 304 с прозрачными акриловыми или статически диссипативными панелями из ПВХ |
|---|---|
| Толщина панели | 6-10 mm прозрачные панели камеры |
| эффективная ширина | 500 - 1400 мм ширина шкафа |
| Максимальная длина | До 2200 мм высота шкафа |
| Толщина линий стали | 1,0 - 1,5 мм нержавеющая стальная рамка и базовые панели |
| Плотность ядра | 1180 - 1420 кг / м3 для полимерных панелей и 7850 - 8000 кг / м3 для нержавеющих компонентов |
| Теплопроводимость | 0,19 - 0,21 Вт / (м · К) для прозрачных акриловых панелей |
| Поверхностная отделка | Прозрачные полированные панели камеры с маскированными рамками и полками из нержавеющей стали |
| Объединенный тип | Прокладные навесные двери камеры с защечками сжатия и соединениями для очистки от пленумной подачи |
| Customization | Доступно в зависимости от предполагаемого применения и операционной среды. |
Доступные варианты
статически-диссипативные ПВХ-камерыАвтоматический контроллер влажностиНезависимая регулировка расхода в камерахКонкретные схемы полки для ящиков для вафер
Планируете спецификацию шкафа для хранения пластин?
Отправьте нам ваши габариты, условия монтажа, целевые показатели производительности и требуемую отделку поверхности.
