ภาษาอังกฤษ
ภาษาเยอรมัน
ภาษาอาหรับ
ฝรั่งเศส
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
ภาษามาเลย์
ภาษาโปรตุเกส
ภาษารัสเซีย
ภาษาสเปน
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
อุปกรณ์ห้องคลีนรูมเฉพาะอุตสาหกรรม
ตู้เก็บเวเฟอร์
A sealed multi-chamber cabinet that stores wafer boxes in a clean, dry and visible environment with configurable nitrogen purge control.
- Sealed Wafer Storage
- Controlled Nitrogen Purge
- Independent Clear Chambers
- 200 mm and 300 mm Compatibility
การแนะนําสินค้า
The wafer storage cabinet is arranged around sealed transparent compartments, adjustable shelves and a common dry-gas distribution system. Each chamber provides direct visual inventory checking while limiting the exposure of other stored lots when one door is opened. Stainless steel door frames, compression latches and cleanable internal surfaces support semiconductor storage areas where moisture, particles and handling discipline must be controlled.
คุณสมบัติที่สําคัญ
A distribution plenum delivers dry nitrogen to the cabinet through controlled inlet connections.
Transparent static-dissipative panel options improve visibility while supporting electrostatic-control practices.
Adjustable shelves accommodate common 200 mm and 300 mm wafer lot-box formats.
ความกังวลของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์
Stored wafer lots need protection from ambient humidity and particles without making identification or retrieval unnecessarily difficult.
Opening a large shared cabinet exposes every stored lot to room air.Individually sealed compartments isolate the accessed wafer box from adjacent storage positions.
Uneven purge flow leaves some cabinet areas slower to reach the required humidity.A dedicated distribution plenum and chamber inlets promote consistent dry-gas delivery.
Operators cannot confirm inventory without repeatedly opening opaque doors.Clear chamber panels allow rapid visual checks while the compartment remains closed.
Fixed shelf spacing wastes capacity when wafer-box formats change.Adjustable clean shelves can be positioned around the selected 200 mm or 300 mm containers.
การใช้งานทั่วไป
Semiconductor wafer lot bufferingPre-process wafer box storageMetrology and inspection areasDry storage between fabrication steps
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
Typical construction values for a multi-chamber wafer storage cabinet are shown below.
| วัสดุหลัก | 304 stainless steel frame with clear acrylic or static-dissipative PVC chamber panels |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 6-10 mm transparent chamber panels |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | 500-1400 mm cabinet width |
| ความยาวสูงสุด | สูงสุด 2200 มม. ตู้ |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 1.0-1.5 mm stainless steel frame and base panels |
| ความหนาแน่นหลัก | 1180-1420 kg/m³ for polymer panels and 7850-8000 kg/m³ for stainless components |
| การนําความร้อน | 0.19-0.21 W/(m·K) for clear acrylic panels |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | Clear polished chamber panels with brushed stainless steel frames and shelves |
| ประเภทร่วม | Gasketed hinged chamber doors with compression latches and plenum-fed purge connections |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
Static-dissipative PVC chambersเครื่องควบคุมความชื้นอัตโนมัติIndependent chamber flow adjustmentWafer-box-specific shelf layouts
Planning a Wafer Storage Cabinet specification?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
