Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Tủ lưu trữ wafer
A sealed multi-chamber cabinet that stores wafer boxes in a clean, dry and visible environment with configurable nitrogen purge control.
- Sealed Wafer Storage
- Controlled Nitrogen Purge
- Independent Clear Chambers
- 200 mm and 300 mm Compatibility
Giới thiệu Sản phẩm
The wafer storage cabinet is arranged around sealed transparent compartments, adjustable shelves and a common dry-gas distribution system. Each chamber provides direct visual inventory checking while limiting the exposure of other stored lots when one door is opened. Stainless steel door frames, compression latches and cleanable internal surfaces support semiconductor storage areas where moisture, particles and handling discipline must be controlled.
Các tính năng chính
A distribution plenum delivers dry nitrogen to the cabinet through controlled inlet connections.
Transparent static-dissipative panel options improve visibility while supporting electrostatic-control practices.
Adjustable shelves accommodate common 200 mm and 300 mm wafer lot-box formats.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Stored wafer lots need protection from ambient humidity and particles without making identification or retrieval unnecessarily difficult.
Opening a large shared cabinet exposes every stored lot to room air.Individually sealed compartments isolate the accessed wafer box from adjacent storage positions.
Uneven purge flow leaves some cabinet areas slower to reach the required humidity.A dedicated distribution plenum and chamber inlets promote consistent dry-gas delivery.
Operators cannot confirm inventory without repeatedly opening opaque doors.Clear chamber panels allow rapid visual checks while the compartment remains closed.
Fixed shelf spacing wastes capacity when wafer-box formats change.Adjustable clean shelves can be positioned around the selected 200 mm or 300 mm containers.
Các ứng dụng điển hình
Semiconductor wafer lot bufferingPre-process wafer box storageMetrology and inspection areasDry storage between fabrication steps
Thông số kỹ thuật
Typical construction values for a multi-chamber wafer storage cabinet are shown below.
| Vật liệu lõi | 304 stainless steel frame with clear acrylic or static-dissipative PVC chamber panels |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 6-10 mm transparent chamber panels |
| Chiều rộng hiệu quả | 500-1400 mm cabinet width |
| Chiều dài tối đa | Chiều cao tủ lên đến 2200 mm |
| Thép đối mặt với độ dày | 1.0-1.5 mm stainless steel frame and base panels |
| Mật độ lõi | 1180-1420 kg/m³ for polymer panels and 7850-8000 kg/m³ for stainless components |
| Độ dẫn nhiệt | 0.19-0.21 W/(m·K) for clear acrylic panels |
| Kết thúc bề mặt | Clear polished chamber panels with brushed stainless steel frames and shelves |
| Loại khớp nối | Gasketed hinged chamber doors with compression latches and plenum-fed purge connections |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Static-dissipative PVC chambersBộ điều khiển độ ẩm tự độngIndependent chamber flow adjustmentWafer-box-specific shelf layouts
Planning a Wafer Storage Cabinet specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
