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Manejo y almacenamiento de materiales de sala limpia
Carro de transporte Wafer
Un carro de transporte de obleas inoxidables electropolida con dos estanterías perforadas, marco de tubo redondo, mango de empuje integrado, rodillas de sala limpia y cadena de puesta a tierra.
por
- Los estantes perforados en ángulo mantienen las cajas de obleas sentadas contra los rieles de retención
- El marco de tubos redondos electropolidos minimiza los bordillos y las esquinas de perfil cuadrado
- Las rodillas de la sala limpia y la provisión de puesta a tierra soportan la transferencia de semiconductores sensibles
Introducción del producto
El carro de transporte de obleas está configurado para el movimiento manual de cajas cerradas de obleas y portadores de lotes entre áreas de trabajo de semiconductores. Dos estanterías perforadas permiten el flujo de aire vertical y están inclinadas ligeramente hacia atrás para que los portadores descansen contra los rieles de retención en lugar del borde del pasillo. Los postes inoxidables redondeados y un mango integrado crean un camino de limpieza accesible, mientras que los rodillos de poliuretano proporcionan una movilidad controlada en los pisos de sala limpia terminados.
Características clave
Las perforaciones reducen las superficies horizontales de recolección de partículas. por
Los rieles de estante de tres lados resisten la migración del portador durante las salidas y giras.
Los tubos inoxidables redondos presentan menos bordes afilados que los ángulos estructurales abiertos.
Las opciones de puesta a tierra y de sala limpia abordan las preocupaciones de vibración y estática. por
Preocupaciones del producto del cliente
Los carros de utilidad ordinarios permiten que los portadores se deslicen, crean superficies de estantería que atrapan partículas y transmiten el choque del piso directamente a las cargas frágiles de obleas.
Movimiento del portador durante las girasEstantes ligeramente angulares y rieles elevados retienen las cajas dentro del perímetro de la cubierta.
acumulación de partículas
porLos paneles perforados y los tubos redondeados exponen caminos de limpieza más fáciles y apoyan el flujo de aire.
por
Choque de rueda alcanzando wafersLas rodillas de poliuretano seleccionadas o cargadas con resorte reducen la entrada de rodadura dura.
Carga electrostática sobre el marcoLas opciones de caster conductor y cadena de puesta a tierra proporcionan un camino de disipación definido.
Aplicaciones típicas
Transporte manual de cajas de obleas de 150 mm, 200 mm o 300 mm, cajas de lotes y portadores de obleas protegidos entre almacenes, estaciones de inspección, áreas de soporte de procesos húmedos y células de metrología.
por
Parámetros técnicos
El plano del estante, la altura del riel de retención y el ángulo hacia atrás se seleccionan en torno a la huella de la caja de obleas objetivo y el método de manejo. El marco soldado transfiere las cargas del estante directamente a cuatro postes de esquina y rodas giratorias montadas en el vástago. El electropulido suaviza las superficies inoxidables expuestas; se pueden agregar compuestos de rueda conductores, cadena de puesta a tierra y conjuntos de casquetes cargados con resorte donde se requiere control electrostático y de choque. por
| Materiales Core | Marco y estantes de acero inoxidable 304 o 316L con rodillas de poliuretano compatibles con sala limpia |
|---|---|
| Panel de espesor | Paneles de estante perforados de 1,2 - 2,0 mm |
| Ancho efectivo | 365-1350 mm Ancho de estante utilizable por |
| Longitud máxima | Hasta 1420 mm de longitud total del carro |
| Acero frente a espesor | 1.2 - 2.0 mm superficies de estante inoxidable expuestas |
| Densidad Core | 7900 - 8000 kg / m3 Densidad nominal de acero inoxidable por |
| Conductividad térmica | 14.6 - 16.2 W / (m · K) a temperatura ambiente por |
| Superficie acabada | Acero inoxidable pulido o pulido mecánico fino |
| Tipo conjunto | Marco de tubo redondo continuamente soldado con estantes perforados retenidos y rodillas giratorias montadas en vástago |
| Customization | Disponible según la aplicación prevista y el entorno operativo. |
Opciones disponibles
Acero inoxidable 304 o 316L, geometría de estantería para portadores de 150 mm, 200 mm o 300 mm, recuento de estantería alternativo, acabado electropolido, rodillos cargados con resorte, ruedas conductoras, cadena de puesta a tierra, divisores de portadores extraíbles y frenos de estacionamiento.
¿Planeando una especificación de carro de transporte de obleas? por
Envíenos sus dimensiones, condiciones de instalación, objetivos de rendimiento y acabado superficial requerido.
