Complete empty wafer transport cart in front-left three-quarter view

Pengendalian dan Penyimpanan Bahan Bilik Bersih

Kereta Pengangkutan Wafer

Kereta pengangkutan wafer tahan karat yang digilap dengan dua rak yang terlubang, bingkai tiub bulat, pemegang dorongan bersepadu, penggelek bilik bersih dan rantaian tanah.

Rak berlubang sudut menyimpan kotak wafer duduk terhadap rel pengekalan
Bingkai tiub bulat yang dipoles elektrik meminimumkan tepi dan sudut profil persegi
Casters bilik bersih dan peruntukan grounding menyokong pemindahan semikonduktor sensitif

Permintaan sebut harga Semak imbas produk

Pengenalan Produk

Kereta pengangkutan wafer dikonfigurasi untuk pergerakan manual kotak wafer tertutup dan pembawa banyak antara kawasan kerja semikonduktor. Dua rak berlubang membolehkan aliran udara menegak dan cenderung sedikit ke arah belakang supaya pembawa berehat terhadap rel pengekalan dan bukannya tepi lorong. Pos tahan karat bulat dan pemegang bersepadu mewujudkan laluan lap-down yang boleh diakses, manakala penggelek poliuretan menyediakan mobiliti terkawal di lantai bilik bersih siap.

Ciri-ciri Utama

Dua rak pembawa memisahkan banyak wafer dan mengekalkan beban dalam jejak padat.

Perforasi mengurangkan permukaan pengumpulan zarah mendatar yang luas.

Rel rak tiga sisi menahan migrasi pembawa semasa permulaan dan giliran.

Tiub tahan karat bulat menghadirkan lebih sedikit tebing tajam daripada sudut struktur terbuka.

Pilihan pembasmian dan pembersih bilik-caster menangani kebimbangan statik dan getaran.

Kebimbangan Produk Pelanggan

Kereta utiliti biasa membolehkan pembawa untuk gelongsor, mewujudkan permukaan rak yang menangkap zarah dan menghantar kejutan lantai terus ke dalam beban wafer yang rapuh.

Pergerakan pembawa semasa bertukarRak yang sedikit sudut dan rel yang dinaikkan mengekalkan kotak di dalam perimeter dek.

Pengumpulan zarahPanel berlubang dan tiub bulat mendedahkan laluan pembersihan yang lebih mudah dan menyokong aliran udara.

Roda kejutan mencapai waferPoliuretan terpilih atau castor spring-loaded mengurangkan input rolling yang keras.

Caj elektrostatik pada rangkaPilihan caster konduktif dan rantaian tanah menyediakan laluan pelepasan yang ditentukan.

Permohonan yang biasa

Pengangkutan manual kotak wafer 150 mm, 200 mm atau 300 mm, kotak lot dan pembawa wafer yang dilindungi antara stok, stesen pemeriksaan, kawasan sokongan proses basah dan sel metrologi.

Parameter teknikal

Rancangan rak, ketinggian rel pengekalan dan sudut ke belakang dipilih di sekitar jejak kotak wafer sasaran dan kaedah pengendalian. Bingkai yang dikimpal memindahkan beban rak secara langsung ke empat jawatan sudut dan penggelek putar yang dipasang pada batang. Elektropolishing licin mendedahkan permukaan tahan karat; sebatian roda konduktif, rantaian tanah dan pemasangan kastor yang dimuatkan musim bunga boleh ditambah di mana kawalan elektrostatik dan kejutan diperlukan.

Bahan Teras	Bingkai keluli tahan karat 304 atau 316L dan rak dengan penggelek poliuretan serasi bilik bersih
Ketebalan Panel	1.2-2.0 mm panel rak berlubang
Lebar berkesan	365-1350 mm lebar rak yang boleh digunakan
Panjang maksimum	Sehingga 1420 mm keseluruhan panjang kereta
Keluli Menghadapi Ketebalan	1.2-2.0 mm terdedah permukaan rak tahan karat
Ketumpatan teras	7900-8000 kg / m3 nominal ketumpatan keluli tahan karat
Kekonduksian Terma	Kira-kira 14.6-16.2 W / (m · K) pada suhu bilik
Kemasan permukaan	Elektropolished atau halus mekanikal digilap keluli tahan karat
Jenis Bersatu	Bingkai tiub bulat yang dikimpal secara berterusan dengan rak berlubang yang dikekalkan dan penggelek putar yang dipasang pada batang
Penyesuaian	Boleh didapati berdasarkan aplikasi yang dimaksudkan dan persekitaran operasi.

Pilihan yang boleh didapati

304 atau keluli tahan karat 316L, geometri rak untuk pembawa 150 mm, 200 mm atau 300 mm, kiraan rak alternatif, kemasan elektropolished, penggelek spring-loaded, roda konduktif, rantaian grounding, pembahagi pembawa boleh ditanggalkan dan brek letak kereta.

Merancang spesifikasi kereta pengangkutan wafer?

Hantarkan kepada kami dimensi anda, syarat pemasangan, sasaran prestasi dan kemasan permukaan yang diperlukan.

Berbincang dengan pasukan kami