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Reinraum Material Handling und Lagerung
Wafer Transport Cart
Ein elektropolierter rostfreier Wafer-Transportwagen mit zwei perforierten festgehaltenen Regalen, rundem Rohrrahmen, integriertem Schubgriff, Reinraum-Würzen und Erdkette.
- Winkelte perforierte Regale halten die Waferboxen gegen die Rückhaltsschienen sitzen
- Elektropolierter Rundrohrrahmen minimiert Kante und quadratische Ecken
- Reinraum-Günder und Erdungsvorkehrung unterstützen sensiblen Halbleiterübertrag
Produkteinführung
Der Wafer Transportwagen ist für die manuelle Bewegung geschlossener Waferboxen und Losträger zwischen Halbleiterarbeitsbereichen konfiguriert. Zwei perforierte Regale ermöglichen einen vertikalen Luftstrom und sind leicht nach hinten geneigt, so dass die Träger an den Rückhaltsschienen und nicht an der Gangkante ruhen. Runde Edelpfeile und ein integrierter Griff schaffen einen zugänglichen Wippfade, während Polyurethan-Würzeln eine kontrollierte Mobilität auf fertigen Reinraumböden gewährleisten.
Key Features
Perforationen reduzieren breite horizontale Partikelsammlungsflächen.
Dreiseitige Regalschienen widerstehen der Trägermigration bei Starts und Kurven.
Rundes Edelrohr weist weniger scharfe Kante auf als offene strukturelle Winkel.
Erdungs - und Reinraum-Gast - Optionen adressieren statische und Vibrationsprobleme.
Kunden Produktbedenken
Gewöhnliche Utility Carts ermöglichen es Trägern, zu rutschen, Partikelfangelflächen zu erzeugen und Bodenstoß direkt in fragile Waferlasten zu übertragen.
Bewegung des Trägers während der DrehungenLeicht gewinkelte Regale und erhöhte Schienen halten Kisten innerhalb des Deckperimers.
Akkumulation von PartikelnPerforierte Platten und abgerundete Röhren bieten einfache Reinigungswege und unterstützen den Luftstrom.
Rad-Schock erreicht WafersAusgewählte Polyurethan - oder federbelastete Rollen reduzieren den harten Wälzeingang.
Elektrostatische Ladung auf dem FrameLeitfähige Wurzel - und Erdkettenoptionen bieten einen definierten Abbauweg.
Typische Anwendungen
Manueller Transport von 150 mm, 200 mm oder 300 mm Waferboxen, Lotsboxen und geschützten Waferträgern zwischen Lagern, Inspektionsstationen, Nassprozessunterstützungsbereichen und Metrologiezellen.
Technische Parameter
Der Regalplan, die Höhe der Haltungsschienen und der Rückwärtswinkel werden rund um den Zielfabdruck der Waferbox und die Handhabungsmethode ausgewählt. Der geschweißte Rahmen überträgt die Regallastungen direkt auf vier Eckposten und auf Stamm montierte Drehwalzen. Elektropolieren glättet exponierte Edeloberflächen; leitfähige Radverbindungen, Erdketten und federbelastete Rollenbaugruppen können hinzugefügt werden, wenn elektrostatische und Schocksteuerung erforderlich ist.
| Core Material | Edelstahlrahmen und Regale aus 304 oder 316L mit Reinraum-kompatiblen Polyurethan - Gürzen |
|---|---|
| Panel Dicke | 1,2 - 2,0 mm perforierte Regalplatten |
| Effektive Breite | 365-1350 mm Nutzbare Regalbreite |
| Maximale Länge | Bis zu 1420 mm Gesamtwagenlänge |
| Stahl facing Dicke | 1,2 - 2,0 mm freigelegte Rostregalflächen |
| Kerndichte | 7900 - 8000 kg / m3 Nenndichte aus Edelstahl |
| Thermische Leitfähigkeit | Etwa 14,6 - 16,2 W / (m · K) bei Raumtemperatur |
| Oberfläche Finish | Elektropolierter oder fein mechanisch polierter Edelstahl |
| Gemeinsamer Typ | Kontinuierlich geschweißter Rundrohrrahmen mit behaltenem perforierten Regal und Stamm-montierten Drehgollen |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Edelstahl 304 oder 316L, Regalgeometrie für 150 mm, 200 mm oder 300 mm Träger, alternative Regalzahl, elektropolierte Oberfläche, frühgeladene Rollen, leitfähige Räder, Erdkette, abnehmbare Trägerteilungen und Parkbremsen.
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