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Handling et stockage des matériaux Cleanroom
Cart de transport Wafer
Un chariot de transport de plaquettes inoxydables électropolissées avec deux étagères retenues perforées, cadre de tube rond, poignée de poussée intégrée, rouleaux de salle blanche et chaîne de mise à la terre.
par
- Les étagères perforées inclinées maintiennent les boîtes à plaquettes contre les rails de retenue
- Le cadre à tube rond électropolisé minimise les rebords et les coins de profil carré
- Les rouleaux de la salle blanche et la mise à la terre permettent le transfert de semi-conducteurs sensibles
Introduction de produit
Le chariot de transport de plaquettes est configuré pour le mouvement manuel des boîtes à plaquettes fermées et des porteurs de lots entre les zones de travail des semi-conducteurs. Deux étagères perforées permettent un flux d'air vertical et sont légèrement inclinées vers l'arrière afin que les porteurs reposent contre les rails de rétention plutôt que sur le bord de l'allée. Les poteaux inoxydables arrondis et une poignée intégrée créent un chemin d'essuyage accessible, tandis que les rouleaux en polyuréthane offrent une mobilité contrôlée sur les sols de salle blanche finis.
Key Features
Les perforations réduisent les grandes surfaces horizontales de collecte de particules. par
Les rails d'étagère à trois côtés résistent à la migration des porteurs lors des départs et des virages.
Les tubes inoxydables ronds présentent moins de rebords aiguisés que les angles structurels ouverts. par
Les options de mise à la terre et de lanceur de salle blanche répondent aux préoccupations de statique et de vibration. par
Préoccupations du client produit
Les chariots utilitaires ordinaires permettent aux transporteurs de glisser, de créer des surfaces d'étagère captives de particules et de transmettre le choc au sol directement dans les charges de plaquettes fragiles.
Le mouvement du porteur pendant les toursLes étagères légèrement inclinées et les rails surélevés retiennent les boîtes à l'intérieur du périmètre du pont.
accumulation de particules
parLes panneaux perforés et les tubes arrondis exposent des chemins de nettoyage plus faciles et favorisent le flux d'air.
par
Choc de roue atteignant les wafersLes rouleaux sélectionnés en polyuréthane ou à ressort réduisent la force de roulement dure.
Charge électrostatique sur le cadreLes options de rouleau conducteur et de chaîne de mise à la terre offrent un chemin de dissipation défini.
Les applications typiques
Transport manuel de boîtes à plaquettes de 150 mm, 200 mm ou 300 mm, boîtes à lots et porteurs de plaquettes protégés entre les entrepôts, les stations d'inspection, les zones de support des processus humides et les cellules de métrologie.
Paramètres techniques
Le plan d'étagère, la hauteur du rail de retenue et l'angle arrière sont sélectionnés autour de l'empreinte de la boîte à plaquettes cible et de la méthode de manutention. Le cadre soudé transfère les charges de l'étagère directement à quatre poteaux d'angle et rouleaux pivotants montés sur la tige. L'électropolissage lisse les surfaces inoxydables exposées ; des composés de roue conductrices, des chaînes de mise à la terre et des assemblages de rouleaux à ressort peuvent être ajoutés lorsque le contrôle électrostatique et des chocs est nécessaire. par
| Matériaux de base | Cadre et étagères en acier inoxydable 304 ou 316L avec rouleaux en polyuréthane compatibles avec les salles blanches |
|---|---|
| Panneau épaisseur | Panneaux d'étagère perforés de 1,2 - 2,0 mm par |
| Largeur effective | 365 - 350 mm largeur de rayonnage utilisable par |
| Longueur maximale | Jusqu'à 1420 mm de longueur totale du chariot |
| Acier face épaisseur | 1,2 - 2,0 mm surfaces d'étagère inoxydable exposées |
| Densité Core | 7900 - 8000 kg / m3 Densité nominale en acier inoxydable par |
| Conductivité thermique | Environ 14,6 - 16,2 W / (m · K) à température ambiante par |
| surface finie | Acier inoxydable électropolisé ou finement polissé mécaniquement par |
| Type joint | Cadre de tubes ronds soudés en continu avec des étagères perforées retenues et des rouleaux rotatifs montés sur la tige |
| Customisation | Disponible en fonction de l'application prévue et de l'environnement d'exploitation. |
Options disponibles
Acier inoxydable 304 ou 316L, géométrie d'étagère pour porteurs de 150 mm, 200 mm ou 300 mm, comptage d'étagère alternatif, finition électropolissée, rouleaux à ressort, roues conductrices, chaîne de mise à la terre, séparateurs de porteurs amovibles et freins de stationnement.
Planification d'une spécification de chariot de transport de plaquettes ? par
Envoyez-nous vos dimensions, conditions d'installation, objectifs de performance et finition de surface requise.
