Complete empty wafer transport cart in front-left three-quarter view

클린룸 재료 취급 및 보관

웨이퍼 운송 카트

2 개의 구멍이 있는 보관 선반, 둥근 튜브 프레임, 통합된 푸시 핸들, 클린룸 캐스터 및 접지 체인이 장착된 전기 연마 스테인레스 웨이퍼 운송 카트.

웨이퍼 박스를 고정 레일에 맞게 고정시키는 각도 있는 천공 선반
전기 연마 둥근 튜브 프레임으로 모서리 및 사각형 프로파일 모서리를 최소화
클린룸 캐스터 및 접지 조항은 민감한 반도체 전송을 지원합니다.

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상품 소개

웨이퍼 운송 카트는 닫힌 웨이퍼 박스와 로트 캐리어를 반도체 작업 영역 간에 수동으로 이동하도록 구성됩니다.두 개의 구멍이 있는 선반은 수직 공기 흐름을 허용하며 뒷쪽으로 약간 기울어져 있어 캐리어가 통로 가장자리보다는 고정 레일에 닿습니다.둥근 스테인레스 기둥과 통합 핸들은 쉽게 접근할 수 있는 닦아내기 경로를 만들며, 폴리우레탄 캐스터는 완성된 클린룸 바닥에서 제어된 이동성을 제공합니다.

주요 기능

두 개의 캐리어 선반은 웨이퍼 로트를 분리하여 부하를 컴팩트한 공간 내에 유지합니다.

구멍은 넓은 수평 입자 수집 표면을 줄입니다.

3 면 선반 레일은 시작 및 회전 중에 캐리어 이동을 방지합니다.

둥근 스테인레스 튜브는 열린 구조 각도보다 날카로운 모서리가 적습니다.

접지 및 클린룸 캐스터 옵션은 정전 및 진동 문제를 해결합니다.

고객 제품 관심사

일반 유틸리티 카트를 사용하면 캐리어가 미끄러지고 입자를 잡는 선반 표면을 만들고 바닥 충격이 취약한 웨이퍼 부하에 직접 전달됩니다.

회전 시 캐리어 이동약간 각도 있는 선반과 높은 레일은 갑판 둘레 안에 상자를 유지합니다.

입자 축적.구멍이 있는 패널과 둥근 튜브는 청소 경로를 쉽게 노출시키고 공기 흐름을 지원합니다.

휠 충격이 웨이퍼에 도달합니다.선택된 폴리우레탄 또는 스프링 로드 캐스터는 거친 롤링 입력을 줄입니다.

프레임에 있는 정전기 전하전도성 캐스터 및 접지 체인 옵션은 정의된 방출 경로를 제공합니다.

일반적인 응용 프로그램

150 mm, 200 mm 또는 300 mm 웨이퍼 박스, 로트 박스 및 보호 웨이퍼 캐리어를 스토커, 검사 스테이션, 젖은 공정 지원 영역 및 측정 셀 간에 수동으로 운송합니다.

기술 매개변수

선반 평면도, 고정 레일 높이 및 후방 각도는 대상 웨이퍼 박스 외곽설정 및 처리 방법을 중심으로 선택됩니다.용접된 프레임은 선반의 하중을 4 개의 코너 기둥과 스틸에 장착된 회전 캐스터에 직접 전달합니다.전기 연마로 노출된 스테인레스 표면을 부드럽게 처리하며, 정전기 및 충격 제어가 필요한 경우 전도성 휠 화합물, 접지 체인 및 스프링 로드 캐스터 어셈블리를 추가할 수 있습니다.

핵심 재료	304 또는 316 L 스테인레스 스틸 프레임 및 클린룸 호환 폴리우레탄 캐스터가 장착된 선반
패널 두께	1. 2 - 2. 0 mm 구멍이 있는 선반 패널
유효 폭	365 - 350 mm 사용 가능한 선반 폭
최대 길이	최대 1420 mm 의 전체 카트 길이
강철 면면 두께	1. 2 - 2. 0 mm 노출된 스테인레스 선반 표면
코어 밀도	7900 - 8000 kg / m 3 명칭 스테인레스 강철 밀도
열전도도 (Thermal Conductivity)	약 14. 6 - 16. 2 W / (m · K) 실온에서
표면 마무리	전기 연마 또는 미세 기계 연마 스테인레스 스틸
접합 유형	연속 용접 둥근 튜브 프레임, 구멍이 있는 선반과 스틸 장착 회전 캐스터를 유지합니다.
사용자 정의	의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다.

사용 가능한 옵션

304 또는 316 L 스테인레스 스틸, 150 mm, 200 mm 또는 300 mm 캐리어용 선반 형상, 대체 선반 카운트, 전기 연마 마감, 스프링 로드 캐스터, 전도성 휠, 접지 체인, 이동식 캐리어 분할기 및 주차 브레이크.

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