Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Hệ thống lọc AMC
A modular recirculation or make-up-air filtration cabinet that controls semiconductor airborne molecular contaminants through selected media banks and monitored airflow.
- Multi-Stage Molecular Media
- Acid Base and Organic Control
- Monitored Filter Pressure
- Modular Service Banks
Giới thiệu Sản phẩm
The AMC filtration system combines particulate prefiltration, dedicated molecular-media banks, fans and condition-monitoring points in a serviceable stainless enclosure. Media chemistry is selected around the contaminant challenge rather than treated as a universal carbon stage. Separate banks can address acids, bases, organics or dopant compounds, while pressure taps and sampling ports support filter-life assessment and downstream air verification.
Các tính năng chính
Upstream particulate filters protect molecular media from dust loading and surface blockage.
Differential-pressure and sampling points provide evidence for maintenance and media-life decisions.
Modular front service access permits cassette replacement without dismantling the complete air system.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Advanced semiconductor processes require molecular contamination control tailored to local chemistry, airflow and exposure limits.
Acids, bases, dopants and VOCs do not respond equally to one adsorbent.Separate media banks use chemistry selected for each target contaminant family.
Particle loading can consume media surface and increase pressure loss.Dedicated prefilters remove particulate matter before air reaches molecular stages.
Calendar-based replacement discards useful media or leaves exhausted filters in service.Sampling ports and pressure monitoring support condition-based maintenance decisions.
Large filter banks create long service interruptions.Front-access cassettes and isolated banks shorten replacement and allow staged maintenance.
Các ứng dụng điển hình
Semiconductor cleanroom recirculation airPhotolithography AMC controlProcess-tool and wafer-storage protectionMake-up-air molecular filtration
Thông số kỹ thuật
Typical construction values for a modular semiconductor AMC filtration cabinet are listed below.
| Vật liệu lõi | 304 stainless steel enclosure with low-outgassing particulate filters and selected molecular adsorbent media |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 40-80 mm double-wall service panels |
| Chiều rộng hiệu quả | 1200-3000 mm system width |
| Chiều dài tối đa | Up to 6000 mm modular system length |
| Thép đối mặt với độ dày | 1.0-1.5 mm stainless steel inner and outer panels |
| Mật độ lõi | 350-650 kg/m³ for packed molecular media cassettes |
| Độ dẫn nhiệt | 14-17 W/(m·K) for stainless cabinet components |
| Kết thúc bề mặt | Brushed stainless steel with smooth low-outgassing internal surfaces |
| Loại khớp nối | Gasketed modular casing with clamped filter tracks, sealed service doors and flanged duct connections |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Acid, base, organic and dopant media banksRecirculation or make-up-air configurationRedundant EC fan arraysAMC sampling and remote monitoring
Planning a AMC Filtration System specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
