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クリーンルーム試験 · 検証機器

リモート粒子カウンター

A コンパクトな固定点空気中粒子センサーは、クリーンルームの継続的な監視と施設監視システムとの直接統合を実現します。
  • 連続的な粒子動向を明らかにする固定点センシング。
  • ローカルバッファリングは、ネットワーク停止からレコードを保護します。
  • ポンプと FMS インターフェースは、さまざまなモニタリングレイアウトに適合します。
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商品紹介

このリモートパーティクルカウンターは、継続的な無人データが必要な重要なモニタリング場所に恒久的に設置するように設計されています。長寿命レーザーセンサーは、空気中の粒子を測定し、オンボード診断は流れ、レーザー状態、通信ステータスを監視します。ポンプ式およびセントラル真空式構成により、サンプリングアーキテクチャが施設に合わせることができ、バッファリングされたレコードはネットワーク接続が一時的に中断された場合に測定値を保存するのに役立ちます。

主要な特徴

コンパクトな固定点型エンクロージャは、充填ライン、プロセスツール、その他の制約のある監視場所の近くに収まります。

連続的な秒単位測定により、有害な汚染傾向の早期検出をサポートします。

ローカルデータバッファリングは、施設ネットワークの短い中断時にレコードを保護します。

E イーサネット、シリアル、アナログまたはワイヤレスオプションにより、さまざまなモニタリングプラットフォームとの統合が簡単になります。

ポンプ式および外部真空式バリエーションは、集中型または分散型サンプリング設計をサポートします。

ステータスインジケータと予測診断により、データが侵害される前にメンテナンス状態を表示できます。

お客様の製品に関する懸念事項

クリティカルな場所では、ネットワークがダウンした場合に中断しない長期的なトレンドと、プラットフォームの統合とセンサーのメンテナンスを管理しやすいインターフェースが必要です。

A ネットワークの停止は、継続的な環境記録にギャップを作成します。オンボードバッファリングは、通信が復元されたときに後で転送するために時系列サンプルを保持します。
サンプリングチューブおよび外部真空条件で必要な流量が変化する可能性があります。統合ポンプまたはクリティカルオリフィスの構成を選択し、インストールされたサンプル経路を意図した流量に対して検証します。
清掃液は室内衛生中に露出した入口に入ることができます。A 密閉された入口設計と検出可能な保護キャップは、洗浄中の液体の誤った侵入を低減します。
施設は異なる制御およびデータ取得プロトコルを使用します。構成可能なイーサネット、シリアル、アナログ、ワイヤレス出力は、新規または既存の監視システムへの実用的なパスを提供します。

典型的な用途

無菌充填区域での継続的な非実行可能なモニタリング半導体およびディスプレイ製造における固定点モニタリングクリーンルーム設備監視システムとの統合絶縁器とアクセス制限バリアシステムにおける粒子動向設置スペースが限られた重要なプロセスゾーンを監視

技術的なパラメータ

この表は、モニタリングアーキテクチャに合わせた構成を選択した固定リモートセンサの代表的なエンクロージャ材料、サンプリングまたは真空接続、および通信インターフェースをまとめたものです。

コア材料レーザー光学センサーと電子フロー制御アセンブリを含む酸化酸化アルミニウムまたはステンレス鋼の計器エンクロージャ
パネルの厚さ形成された保護エンクロージャのための典型的に 1.0 — 2.0 mm
有効幅ポンプおよびインターフェース構成に応じて約 115 — 175 mm
最大長さ固定エンクロージャを含み、外管を除く約 200 〜 320 mm
鋼鉄の厚さを直面するステンレス製の洗浄型エンクロージャを指定する場合約 1.0 〜 1.5mm
コア密度適用不可; 断熱パネルコアを使用しません ( 0 kg / m3 )
熱伝導率ステンレス鋼の場合は約 14 〜 16 W / ( m · K ) 、アルミエンクロージャセクションの場合は約 160 〜 205 W / ( m · K )
表面仕上げS シールインジケータとコネクタインターフェースを備えた滑らかな陽極酸化またはパッシベーションによるワイプクリーン仕上げ
ジョイントタイプEthernet 、シリアル Modbus 、 4 — 20 mA または無線通信で密閉されたサンプリングインレット
カスタマイズ意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

2.83 または 28.3 L / min の流れ構成0.2 、 0.3 または 0.5 μ m 最小感度統合ポンプまたは中央真空構成Ethernet 、シリアル Modbus 、 4 — 20 mA または無線出力VHP 耐性光学およびエンクロージャ構成温度および相対湿度のプローブ入力

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寸法、設置条件、性能目標、必要な表面仕上げをお送りください。

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