Remote particle counter in three-quarter front view on a white background

클린룸 테스트 및 검증 장비

원격 입자 카운터

A 컴팩트한 고정점 공기 중 입자 센서는 클린룸의 지속적인 모니터링 및 시설 모니터링 시스템과의 직접 통합을 제공합니다.

고정점 감지에서 지속적인 입자 추세를 나타냅니다.
로컬 버퍼링은 네트워크 가동 중단 시 레코드를 보호합니다.
펌프와 FMS 인터페이스는 다양한 모니터링 레이아웃에 적합합니다.

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상품 소개

이 원격 입자 카운터는 지속적인 무관리 데이터가 필요한 중요한 모니터링 위치에 영구적으로 설치하도록 설계되었습니다.장수명 레이저 센서는 공기 중 입자를 측정하는 한편, 온보드 진단은 흐름, 레이저 상태 및 통신 상태를 모니터링합니다.펌프 및 중앙 진공 구성을 통해 샘플링 아키텍처가 시설에 맞게 조정되며, 네트워크 연결이 일시적으로 중단될 경우 버퍼링된 레코드를 통해 측정값을 보존할 수 있습니다.

주요 기능

컴팩트한 고정점 엔클로저로 충전 라인, 프로세스 도구 및 기타 제한된 모니터링 위치 근처에 적합합니다.

연속적인 초당 측정은 불리한 오염 추세를 조기에 탐지할 수 있습니다.

로컬 데이터 버퍼링은 짧은 시설 네트워크 중단 시 레코드를 보호합니다.

E 이더넷, 직렬, 아날로그 또는 무선 옵션으로 다양한 모니터링 플랫폼과의 통합이 간편합니다.

펌프 및 외부 진공 변형은 중앙 집중식 또는 분산 샘플링 설계를 지원합니다.

Status 표시기 및 예측 진단 기능을 통해 데이터가 손상되기 전에 유지보수 조건을 표시할 수 있습니다.

고객 제품 관심사

네트워크가 중단될 때 중단되지 않는 장기적인 추세와 플랫폼 통합 및 센서 유지 관리를 간편하게 관리할 수 있는 인터페이스가 필요한 중요한 위치입니다.

A 네트워크 정전이 발생할 경우 지속적인 환경 기록에 간격이 발생할 수 있습니다.온보드 버퍼링은 나중에 통신이 복원될 때 전송할 수 있도록 시간순서 샘플을 유지합니다.

샘플링 튜브 및 외부 진공 조건으로 인해 필요한 유량이 변경될 수 있습니다.통합 펌프 또는 임계 오리프 구성을 선택하고 설치된 샘플 경로를 의도된 유량에 대해 확인합니다.

룸 위생 중에 청소용 액체가 노출된 입구로 들어갈 수 있습니다.A 밀봉된 유입구 설계와 탐지 가능한 보호 캡은 청소 중에 액체가 우연히 유입되는 것을 방지합니다.

시설은 서로 다른 제어 및 데이터 수집 프로토콜을 사용합니다.구성 가능한 이더넷, 직렬, 아날로그 및 무선 출력은 신규 또는 기존 모니터링 시스템으로의 실용적인 경로를 제공합니다.

일반적인 응용 프로그램

무균 충전 영역의 비활성 모니터링반도체 및 디스플레이 제조에서의 고정점 모니터링클린룸 시설 모니터링 시스템과의 통합격리기 및 접근 제한 장벽 시스템에서의 입자 추세설치 공간이 제한된 중요한 공정 영역 모니터링

기술 매개변수

이 표에서는 모니터링 아키텍처에 맞는 구성으로 선택한 고정 원격 센서의 대표적인 엔클로저 재료, 샘플링 또는 진공 연결 및 통신 인터페이스를 요약합니다.

핵심 재료	레이저 광학 센서 및 전자 유량 제어 어셈블리가 장착된 산화 된 알루미늄 또는 스테인레스 스틸 기기 케이스
패널 두께	형성된 보호 엔클로저의 경우 일반적으로 1. 0 - 2. 0 mm
유효 폭	펌프 및 인터페이스 구성에 따라 약 115 - 175 mm
최대 길이	고정 엔클로저 포함, 외부 튜브 제외 약 200 - 320 mm
강철 면면 두께	스테인레스 스틸 워싱다운 케이스가 지정된 경우 약 1. 0 - 1. 5 mm
코어 밀도	적용되지 않음; 단열판 코어 사용 없음 (0 kg / m3)
열전도도 (Thermal Conductivity)	스테인레스 스틸의 경우 약 14 - 16 W / (m · K) 또는 알루미늄 케이스 섹션의 경우 약 160 - 205 W / (m · K)
표면 마무리	S 밀봉된 표시기 및 커넥터 인터페이스를 갖춘 부드러운 양극화 또는 비활성화 닦기 마감물
접합 유형	이더넷, 직렬 Modbus, 4 - 20 mA 또는 무선 통신으로 구성된 밀봉된 샘플링 입구
사용자 정의	의도된 응용 프로그램 및 운영 환경에 따라 사용할 수 있습니다.

사용 가능한 옵션

2. 83 또는 28. 3 L / min 흐름 구성0. 2, 0. 3 또는 0. 5 μm 최소 감도내장형 펌프 또는 중앙 진공 구성E 이더넷, 직렬 Modbus, 4 - 20 mA 또는 무선 출력VHP 내성 옵티컬 및 엔클로저 구성Temperature and relative humidity probes 입력

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