Wafer dry storage cabinet in complete three-quarter view with vertical cassette slots

業界特有のクリーンルーム機器

Wafer 乾燥貯蔵キャビネット

半導体ウエハを監視された乾燥ガス条件下で垂直に保持するように設計されたカセット構成の低湿度キャビネット。

専用のウエハカセットスロット
監視低湿度
乾燥ガス流通
静的コントロールパネルオプション

商品紹介

Z ウエハドライ貯蔵キャビネットは、密閉された窒素パージエンクロージャに専用の垂直カセットディバイダーを追加します。ラック形状により、ウエハキャリアを分離し、取り出し順序を改善し、各格納位置の周りのパージパスを開くようにします。透明なガスケット付きドアにより、チャンバーを乱すことなく在庫チェックが可能で、外部の湿度表示と流量制御は明確な操作基準を提供します。

主要な特徴

垂直ディスペッタはウエハカセットを分離し、一貫して配向します。

穴あけの棚と分散した入り口は、貯蔵ロット周りの開いた乾燥ガス経路を維持します。

外部湿度表示は、キャビネットを開けずに状態チェックをサポートします。

密閉された静電放電パネルオプションは、可視性と静電制御を実践を組み合わせます。

お客様の製品に関する懸念事項

ウエハカセットには、湿度を制御し、接触、混雑、不必要なドア開き時間を避けるための組織化されたサポートが必要です。

緩いウエハキャリアはローディング中に移動または接触できます。専用の垂直ディバイダーは間隔と繰り返しカセットの向きを維持します。

ブロックされた棚領域は不均一なパージ循環を引き起こす。穴あけの棚と開いたディスペンサージオメトリは、各位置の周りの流路を維持します。

正しいカセットを探すと、ドアを開け露光が延長されます。インデックスされたストレージの位置が表示されるため、アクセス前にターゲットを見つけやすくなります。

単一の固定キャビネットレイアウトは異なるカセットフォーマットに対応できません。調節可能な棚とディスペッタアセンブリは、意図したキャリアの寸法に合わせて構成できます。

典型的な用途

ウエハカセットステージングリソグラフィ材料バッファリング計量キューストレージ半導体プロセス間のドライストレージ

技術的なパラメータ

Z ウエハ特有のドライストレージキャビネットの典型的な構造値は以下の通りです。

コア材料	304 ステンレス鋼または静的放散 PVC のガラスとステンレスカセットのディバイダーが付いている陽極酸化アルミキャビネット
パネルの厚さ	6-10 mm 透明エンクロージャパネル
有効幅	700 — 1600mm キャビネット幅
最大長さ	最大 2200 mm キャビネット高さ
鋼鉄の厚さを直面する	1.0 — 1.5 mm のステンレスキャビネットおよびディバイダー部品
コア密度	静電放散 PVC の場合 1350 — 1420 kg / m3 、ステンレス部品の場合 7850 — 8000 kg / m3
熱伝導率	PVC のガラスのための 0.15 — 0.19 W / （ m · K
表面仕上げ	ブラシをかけられたステンレス鋼、天然の陽極酸化アルミニウムおよびクリアまたは琥珀色の静的放電パネル
ジョイントタイプ	調節可能なスロット式シェルフとカセットディバイダーアセンブリ付きのガスケット付きヒンジドア
カスタマイズ	意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

200 mm または 300 mm カセットレイアウト独立チャンバーパージ制御自動湿度調節静的放散ガラス

ウエハドライストレージキャビネットの仕様を計画していますか？

寸法、設置条件、性能目標、必要な表面仕上げをお送りください。

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