Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Bộ lọc hóa học FFU
A ceiling or mini-environment fan-filter unit that combines gas-phase chemical media with final particulate filtration for localized AMC control.
- Gas-Phase Chemical Filtration
- Integrated EC Fan
- Final Particulate Filter
- Replaceable Media Cassettes
Giới thiệu Sản phẩm
The chemical filter FFU draws return or room air through selected gas-phase media before delivering it through a final particulate filter and uniform diffuser. Activated carbon, impregnated media or blended chemisorbents can be selected around the target airborne molecular contaminant. A compact EC fan and modular media drawer support local installation above semiconductor mini-environments, sensitive process zones or ceiling-grid positions.
Các tính năng chính
A final particulate filter captures media dust and airborne particles before supply air enters the protected zone.
EC fan control provides adjustable airflow for pressure balancing and filter loading compensation.
Service drawers allow chemical-media replacement without dismantling the complete unit housing.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Sensitive semiconductor processes need control of molecular contaminants as well as particles, often within a limited ceiling or tool-envelope depth.
A conventional HEPA FFU does not remove gases or airborne molecular contaminants.Dedicated adsorbent and chemisorbent stages remove target molecular species before final filtration.
One universal carbon grade cannot efficiently address every contaminant family.Modular cassettes allow media chemistry to be selected for acids, bases, organics or dopants.
Media replacement can interrupt the protected process zone.Accessible service drawers shorten change time and keep the fan/filter housing installed.
Rising filter resistance reduces airflow over time.Adjustable EC fan control restores the required flow within the equipment operating range.
Các ứng dụng điển hình
Semiconductor mini-environmentsPhotolithography process areasChemical-sensitive metrology zonesLocalized AMC control above wafer handling
Thông số kỹ thuật
Typical construction values for a compact chemical-filter fan-filter unit are shown below.
| Vật liệu lõi | Galvanized or stainless steel housing with activated-carbon or impregnated chemisorbent media |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 100-450 mm overall equipment depth |
| Chiều rộng hiệu quả | 575-1220 mm nominal module width |
| Chiều dài tối đa | Up to 1220 mm module length |
| Thép đối mặt với độ dày | 0.8-1.2 mm metal housing panels |
| Mật độ lõi | 350-650 kg/m³ for packed chemical media cassettes |
| Độ dẫn nhiệt | 14-17 W/(m·K) for stainless housing components |
| Kết thúc bề mặt | Brushed stainless steel or cleanroom-grade powder-coated metal housing |
| Loại khớp nối | Gasketed filter seats with latched chemical-media drawer and bolted fan housing |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Acid, base, organic or dopant mediaBộ lọc cuối cùng HEPA hoặc ULPALocal, analog or network fan controlCeiling-grid or mini-environment mounting
Planning a Chemical Filter FFU specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
