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Reinraum Material Handling und Lagerung
FOUP Transportwagen
Ein zweiebenen rostfreier FOUP-Transportwagen mit dunklen statisch-dämpfenden Regalmatten, dreieckigen Locator-Stiften, erhöhten Halterkanten, leitfähigen Rollen und Erdkette.
- Drei-Punkt - Locator-Sets positionieren jedes 300 mm FOUP konsequent auf dem Regal
- Statisch-dissipative Matten und Erdungsoptionen unterstützen das Ladegesteuerte Handling
- Erhöhte dreiseitige Kisten halten die Träger während der Bewegung im Wagen-Fußabdruck
Produkteinführung
Der FOUP Transportwagen bietet eine spezielle manuelle Mobilität für geschlossene 300 mm Waferträger zwischen Halbleiterprozess - und Lagerungspunkten. Jedes feste Edelregal enthält eine austauschbare statisch-disspervative Matte und ein Drei-Stift - Locator-Muster, das an die Trägerbasis ausgerichtet ist. Drei erhöhte Regalkanten schützen die Ladungshühle, während die offene Vorderseite die direkte Platzierung und den Rückzug unterstützt. Der geschweißte Rahmen, der integrierte Griff und die leitfähige Rollhardware werden für die gesteuerte Reinraumbewegung ausgewählt.
Key Features
Drei Locator-Pins auf jedem Regal schaffen eine wiederholbare Trägerorientierung.
Dunkle ESD-Matten dämpfen die Basis und bieten eine kontrollierte Kontaktoberfläche.
Hohergestellte hintere und seitliche Leisten widerstehen der Trägermigration, ohne die Vorderbelastung zu behindern.
Leitfähige Rollen und eine Erdkette bieten konfigurierbare Ladungs-Dispersionswege.
Kunden Produktbedenken
Generische Wagen lokalisieren nicht die FOUP-Basen, ermöglichen es den Trägern, sich während der Drehungen zu verschieben und können Ladung unter empfindlichen Wafergehäusen ansammeln.
Carrier Missalignment auf dem RegalEin spezielles Drei-Punkt - Lokator-Muster stellt eine wiederholbare Orientierung fest.
Rutschen während der BeschleunigungStatisch-dämpfende Matten und drei erhöhte Kante behalten den Trägerabdruck.
Elektrostatische Ladung AufbauLeitfähige Rollen, gefessene Rahmen - und Erdkettenoptionen erzeugen definierte Abfallwege.
Reinigen um lose ZubehörMatten sind abnehmbar und der geschweißte Edelrahmen setzt zugängliche Wipflächen aus.
Typische Anwendungen
Manuelle Bewegung und vorübergehende Staging von 300 mm FOUPs oder kompatiblen vordere öffnenden Waferträgern an Ladeanschlüssen, Messstationen, Lagerschnittstellen und Halbleiter-Reinraum - Arbeitszellen.
Technische Parameter
Die Locator-Pin - Koordinaten müssen mit der Zielschnittstelle des FOUP-Bottom übereinstimmen, sodass der Träger auf seinen beabsichtigten Unterstützungsmerkmalen und nicht auf der Hülle ruht. Die Regalsteifigkeit, die Mattendicke und die Leistefreiheit werden rund um die beladenen Massen und den Bedienerzugriff gewählt. Der rostfreie Rahmen überträgt die Regallasten auf vier Eckgusswerke; die Erdkontinuität zwischen Regalen, Rahmen und Walzen wird für die mitgelieferte Konfiguration überprüft.
| Core Material | 304 oder 316L Edelstahlrahmen mit statisch-disspativem Polymer-Regalmatten |
|---|---|
| Panel Dicke | 1,2 - 2,0 mm solide Edelstahl-Regal - Pfannen |
| Effektive Breite | 420 - 650 mm nutzbare Regalbreite |
| Maximale Länge | Bis zu 900 mm Gesamtwagenlänge |
| Stahl facing Dicke | 1,2 - 2,0 mm freigelegte Rostregalflächen |
| Kerndichte | 7900 - 8000 kg / m3 Nenndichte aus Edelstahl |
| Thermische Leitfähigkeit | Etwa 14,6 - 16,2 W / (m · K) bei Raumtemperatur |
| Oberfläche Finish | Feinbürsten - oder elektropolierten Edelstahl mit abnehmbaren texturierten ESD-Matten |
| Gemeinsamer Typ | Kontinuierlich geschweißter Quadratrohrrahmen mit festgehaltenen Regale, Drei-Punkt - Locator-Sets und Drehwalzen |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Edelstahl 304 oder 316L, ein oder zwei FOUP-Ebenen, carrier-spezifisches Locator-Muster, austauschbare ESD-Matte, leitfähige Rollen, Erdkette, Federbelastete Räder, Parkbremsen, RFID-Halter und schützende Vordrückrückhalt.
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