Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị phòng sạch cụ thể cho ngành
Tủ lưu trữ FOUP
A dedicated semiconductor stocker that supports 300 mm FOUPs at indexed positions with optional nitrogen purge and position-status monitoring.
- Dedicated 300 mm FOUP Positions
- Kinematic Pod Support
- Optional Nitrogen Purge
- Position Status Indication
Giới thiệu Sản phẩm
The FOUP storage cabinet provides an organized buffer between semiconductor process tools and material-handling operations. Each storage position includes stable pod supports, controlled clearance and optional nitrogen purge coupling so a 300 mm FOUP can remain protected while waiting for its next step. Open-front access supports manual or automated transfer configurations, while local status indicators help operators identify occupied and available positions.
Các tính năng chính
Optional nitrogen interfaces reduce oxygen and moisture exposure inside compatible stored pods.
Local occupancy indicators make available positions visible from the aisle.
Modular bay construction scales from compact manual buffers to larger stocker arrangements.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
FOUP buffers must keep pods organized, correctly located and ready for safe transfer without consuming unnecessary cleanroom floor space.
FOUPs placed on general shelving can be misaligned or damaged during retrieval.Dedicated locating supports constrain each pod at a repeatable storage and pickup position.
Long queue times increase the risk of moisture and oxygen entering stored carriers.Optional position-level nitrogen couplings purge compatible FOUPs during storage.
Operators lose time searching for an empty or released location.Occupancy and status indicators identify available positions directly at the cabinet.
A fixed buffer cannot adapt when tool throughput changes.Modular vertical and horizontal bays allow storage capacity to follow the process layout.
Các ứng dụng điển hình
300 mm wafer fab bufferingProcess-tool interface storageMetrology queue managementSemiconductor material-handling areas
Thông số kỹ thuật
Typical construction values for a modular FOUP storage cabinet are shown below.
| Vật liệu lõi | Anodized aluminum frame with 304 stainless steel supports and engineering-polymer FOUP locating pads |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 1.5-3.0 mm service and divider panels |
| Chiều rộng hiệu quả | 600-2400 mm cabinet width depending on bay count |
| Chiều dài tối đa | Up to 3000 mm modular stocker length |
| Thép đối mặt với độ dày | 1.2-2.0 mm stainless steel support and service panels |
| Mật độ lõi | 2700 kg/m³ for aluminum framing and 7850-8000 kg/m³ for stainless supports |
| Độ dẫn nhiệt | 14-17 W/(m·K) for stainless support components |
| Kết thúc bề mặt | Natural anodized aluminum with brushed stainless steel and black polymer locating surfaces |
| Loại khớp nối | Bolted modular frame with indexed FOUP shelves, kinematic stops and optional purge couplings |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Nitrogen purge at each positionManual or automated transfer interfaceOccupancy sensingCustom bay and tier count
Planning a FOUP Storage Cabinet specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
