ภาษาอังกฤษ
ภาษาเยอรมัน
ภาษาอาหรับ
ฝรั่งเศส
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
ภาษามาเลย์
ภาษาโปรตุเกส
ภาษารัสเซีย
ภาษาสเปน
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
อุปกรณ์ห้องคลีนรูมเฉพาะอุตสาหกรรม
ตู้เก็บของ FOUP รายละเอียดเพิ่มเติม:
A dedicated semiconductor stocker that supports 300 mm FOUPs at indexed positions with optional nitrogen purge and position-status monitoring.
- Dedicated 300 mm FOUP Positions
- Kinematic Pod Support
- Optional Nitrogen Purge
- Position Status Indication
การแนะนําสินค้า
The FOUP storage cabinet provides an organized buffer between semiconductor process tools and material-handling operations. Each storage position includes stable pod supports, controlled clearance and optional nitrogen purge coupling so a 300 mm FOUP can remain protected while waiting for its next step. Open-front access supports manual or automated transfer configurations, while local status indicators help operators identify occupied and available positions.
คุณสมบัติที่สําคัญ
Optional nitrogen interfaces reduce oxygen and moisture exposure inside compatible stored pods.
Local occupancy indicators make available positions visible from the aisle.
Modular bay construction scales from compact manual buffers to larger stocker arrangements.
ความกังวลของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์
FOUP buffers must keep pods organized, correctly located and ready for safe transfer without consuming unnecessary cleanroom floor space.
FOUPs placed on general shelving can be misaligned or damaged during retrieval.Dedicated locating supports constrain each pod at a repeatable storage and pickup position.
Long queue times increase the risk of moisture and oxygen entering stored carriers.Optional position-level nitrogen couplings purge compatible FOUPs during storage.
Operators lose time searching for an empty or released location.Occupancy and status indicators identify available positions directly at the cabinet.
A fixed buffer cannot adapt when tool throughput changes.Modular vertical and horizontal bays allow storage capacity to follow the process layout.
การใช้งานทั่วไป
300 mm wafer fab bufferingProcess-tool interface storageMetrology queue managementSemiconductor material-handling areas
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
Typical construction values for a modular FOUP storage cabinet are shown below.
| วัสดุหลัก | Anodized aluminum frame with 304 stainless steel supports and engineering-polymer FOUP locating pads |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 1.5-3.0 mm service and divider panels |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | 600-2400 mm cabinet width depending on bay count |
| ความยาวสูงสุด | Up to 3000 mm modular stocker length |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 1.2-2.0 mm stainless steel support and service panels |
| ความหนาแน่นหลัก | 2700 kg/m³ for aluminum framing and 7850-8000 kg/m³ for stainless supports |
| การนําความร้อน | 14-17 W/(m·K) for stainless support components |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | Natural anodized aluminum with brushed stainless steel and black polymer locating surfaces |
| ประเภทร่วม | Bolted modular frame with indexed FOUP shelves, kinematic stops and optional purge couplings |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
Nitrogen purge at each positionManual or automated transfer interfaceOccupancy sensingCustom bay and tier count
Planning a FOUP Storage Cabinet specification?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
