Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Thiết bị lọc không khí FFU và thiết bị đầu cuối
Bộ lọc hóa học AMC FFU
A two-stage fan filter unit that combines target-specific molecular adsorbent media with downstream HEPA or ULPA filtration for contamination-sensitive processes.
- Targeted AMC Adsorbents
- Two-Stage Filtration
- Xây dựng khí thải thấp
- Replaceable Media Cassettes
Giới thiệu Sản phẩm
The AMC chemical filter FFU is built around a removable molecular panel installed upstream of a particulate final filter. Activated carbon captures volatile organic compounds, impregnated carbon targets acidic species and ion-exchange media can be selected for alkaline contaminants such as ammonia. The downstream HEPA or ULPA stage retains particles released by the incoming air stream and protects the clean zone after the adsorption section. A deeper EC fan plenum provides the additional pressure needed for both stages without forcing a separate chemical-filter bank into the ceiling return path.
Các tính năng chính
The molecular panel sits upstream of the particulate filter so captured gases do not bypass the final clean-air face.
Low-outgassing frame, gasket and sealant materials reduce secondary contamination inside sensitive clean zones.
Separate cassette access permits the chemical stage to be changed according to its own service life.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Particle counts alone do not reveal molecular contaminants that can corrode conductors, change photoresist chemistry or deposit films on precision surfaces.
Trace ammonia or acidic gases can shift sensitive process chemistry even when the cleanroom particle count is acceptable.A selected base- or acid-targeted adsorbent layer removes the relevant molecular species before supply air reaches the process.
One general-purpose carbon bed performs poorly when the contaminant mixture contains dissimilar compounds.Multiple embedded media types can be arranged in the same cassette for defined acids, bases and organic vapours.
Chemical media can shed particles or emit compounds that burden a downstream process zone.Cleanroom-grade low-shedding media is followed by a HEPA or ULPA panel that captures particulate carryover.
Replacing both filter stages together wastes usable particulate-filter life.Independent molecular and final-filter access allows each stage to follow its own pressure-drop or exposure schedule.
Các ứng dụng điển hình
Photolithography and coating areasSemiconductor metrology roomsReticle and wafer storageFlat-panel display processingBattery material dry rooms
Thông số kỹ thuật
Typical material and dimensional ranges for an AMC chemical filter FFU are shown below.
| Vật liệu lõi | Activated carbon, impregnated carbon or ion-exchange adsorbent panel upstream of a micro-glass HEPA or ULPA pack |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 400-620 mm overall module depth, depending on molecular media depth |
| Chiều rộng hiệu quả | 575-1175 mm nominal ceiling-grid width |
| Chiều dài tối đa | Up to 1220 mm standard module length |
| Thép đối mặt với độ dày | 1.0-1.5 mm powder-coated or stainless-steel plenum sheet |
| Mật độ lõi | Approximately 350-550 kg/m³ bulk density for selected granular or embedded adsorbent media |
| Độ dẫn nhiệt | Approximately 0.08-0.20 W/(m·K) for the selected dry carbon-based adsorption layer |
| Kết thúc bề mặt | Low-outgassing white powder coat or brushed 304 stainless steel |
| Loại khớp nối | Gasketed removable AMC cassette with downstream gel-seal or compression-seal particulate filter |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
Acid, base, VOC or combined adsorbent blendHEPA H14 or ULPA U15-U16 final stageGas sampling portsDifferential-pressure monitoring for both stages
Planning a AMC Chemical Filter FFU specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
