ภาษาอังกฤษ
ภาษาเยอรมัน
ภาษาอาหรับ
ฝรั่งเศส
ภาษาอินโดนีเซีย
ภาษาญี่ปุ่น
ภาษาเกาหลี
ภาษามาเลย์
ภาษาโปรตุเกส
ภาษารัสเซีย
ภาษาสเปน
ภาษาไทยปัจจุบัน
ภาษาตุรกี
ภาษาเวียดนาม
อุปกรณ์ฟอกอากาศ FFU และ Terminal
AMC ตัวกรองเคมี FFU
A two-stage fan filter unit that combines target-specific molecular adsorbent media with downstream HEPA or ULPA filtration for contamination-sensitive processes.
- Targeted AMC Adsorbents
- Two-Stage Filtration
- Low-Outgassing Construction
- Replaceable Media Cassettes
การแนะนําสินค้า
The AMC chemical filter FFU is built around a removable molecular panel installed upstream of a particulate final filter. Activated carbon captures volatile organic compounds, impregnated carbon targets acidic species and ion-exchange media can be selected for alkaline contaminants such as ammonia. The downstream HEPA or ULPA stage retains particles released by the incoming air stream and protects the clean zone after the adsorption section. A deeper EC fan plenum provides the additional pressure needed for both stages without forcing a separate chemical-filter bank into the ceiling return path.
คุณสมบัติที่สําคัญ
The molecular panel sits upstream of the particulate filter so captured gases do not bypass the final clean-air face.
Low-outgassing frame, gasket and sealant materials reduce secondary contamination inside sensitive clean zones.
Separate cassette access permits the chemical stage to be changed according to its own service life.
ความกังวลของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์
Particle counts alone do not reveal molecular contaminants that can corrode conductors, change photoresist chemistry or deposit films on precision surfaces.
Trace ammonia or acidic gases can shift sensitive process chemistry even when the cleanroom particle count is acceptable.A selected base- or acid-targeted adsorbent layer removes the relevant molecular species before supply air reaches the process.
One general-purpose carbon bed performs poorly when the contaminant mixture contains dissimilar compounds.Multiple embedded media types can be arranged in the same cassette for defined acids, bases and organic vapours.
Chemical media can shed particles or emit compounds that burden a downstream process zone.Cleanroom-grade low-shedding media is followed by a HEPA or ULPA panel that captures particulate carryover.
Replacing both filter stages together wastes usable particulate-filter life.Independent molecular and final-filter access allows each stage to follow its own pressure-drop or exposure schedule.
การใช้งานทั่วไป
Photolithography and coating areasSemiconductor metrology roomsReticle and wafer storageFlat-panel display processingBattery material dry rooms
พารามิเตอร์ทางเทคนิค
Typical material and dimensional ranges for an AMC chemical filter FFU are shown below.
| วัสดุหลัก | Activated carbon, impregnated carbon or ion-exchange adsorbent panel upstream of a micro-glass HEPA or ULPA pack |
|---|---|
| ความหนาของแผง | 400-620 mm overall module depth, depending on molecular media depth |
| ความกว้างที่มีประสิทธิภาพ | 575-1175 mm nominal ceiling-grid width |
| ความยาวสูงสุด | Up to 1220 mm standard module length |
| ความหนาของเหล็กหันหน้า | 1.0-1.5 mm powder-coated or stainless-steel plenum sheet |
| ความหนาแน่นหลัก | Approximately 350-550 kg/m³ bulk density for selected granular or embedded adsorbent media |
| การนําความร้อน | Approximately 0.08-0.20 W/(m·K) for the selected dry carbon-based adsorption layer |
| เสร็จสิ้นพื้นผิว | Low-outgassing white powder coat or brushed 304 stainless steel |
| ประเภทร่วม | Gasketed removable AMC cassette with downstream gel-seal or compression-seal particulate filter |
| การปรับแต่ง | สามารถใช้ได้ตามแอปพลิเคชันที่ตั้งใจไว้และสภาพแวดล้อมการทํางาน |
ตัวเลือกที่มีอยู่
Acid, base, VOC or combined adsorbent blendHEPA H14 or ULPA U15-U16 final stageGas sampling portsDifferential-pressure monitoring for both stages
Planning a AMC Chemical Filter FFU specification?
ส่งมิติของคุณเงื่อนไขการติดตั้งเป้าหมายประสิทธิภาพและผิวที่ต้องการ
