클린룸 유틸리티 시스템

밸브 manifold 패널

밸브 매니폴드 박스

가스 제어 패널

가스 실린더 캐비닛

특수 가스 캐비닛

진공 압력 제어기

진공 사용 시점 밸브 (Vacuum Point of Use Valve)

진공 파이프 청소

진공 배기 HEPA 필터

진공 살균 필터

진공 수신기

액체 링 진공 펌프

건조 진공 펌프 (Dry Vacuum Pump)

중앙 진공 펌프 시스템

압축 공기 품질 모니터링 시스템

Compressed Air Piping 을 청소합니다.

압축 공기 압력 조절기 (compressed air pressure regulator)

Point - of - Use 공기 필터

압축 공기 무균 필터 (Compressed Air Sterile Filter)

압축 공기 오일 제거 필터