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業界特有のクリーンルーム機器

黄色いクリーンルームライト

フォトリソグラフィー、感光性コンパウンド、制御製造領域での短波長露出を制限する密閉窄スペクトル琥珀 LED 照明器具。
  • 狭いスペクトル琥珀出力
  • 密封滑らかなレンズ
  • クリーンルームマウントの凹入
  • トップサービスエレクトロニクス
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商品紹介

アンバークリーンルーム LED 照明器は、滑らかな密封レンズとオーバーラップステンレスドアフレームを備えた溶接された凹部ハウジングに狭スペクトル LED アレイを統合しています。その琥珀色の出力は、紫外線および短波長の可視エネルギーから光に敏感なプロセスを保護するのに役立ちます。一方、拭き取り可能な外観と連続ガスケットはクリーンな天井インターフェースを維持します。グリッドとフランジの構成は、一般的なクリーンルーム天井システムをサポートし、ドライバのメンテナンスのための天井上アクセスオプションがあります。

主要な特徴

選択された 570 nm または 590 nm のアンバーアレイは、分光感度処理をサポートします。

滑らかな密閉レンズとワンピースドアフレームは、汚れトラップを最小限に抑え、ワイプダウンを簡単にします。

連続クローズドセルガスケットは、治具と天井のインターフェースの周りの漏れを制限します。

トップアクセスの運転室は、クリーンルームサイドレンズを開けなくてもサービスできます。

お客様の製品に関する懸念事項

通常の白色照明は、感光材料を紫外線や短波長の可視光エネルギーにさらすことができ、天井の浸透はクリーンルームのシールを複雑にします。

青色と紫外線エネルギーはフォトレジストや敏感成分を変更します。狭スペクトル琥珀 LED アレイは、有害な短波長領域での出力を制限します。
複雑なレンズフレームは洗浄中に残留物を蓄積します。滑らかなオーバーラップドアフレームとシールレンズは、クリーンルーム側表面を拭き取り可能にします。
運転手サービスが制御室の運行を中断することがあります。オプションのトップアクセスは、天井上からの電気メンテナンスを可能にします。
治具ギャップは圧力境界を越えた空気漏れを可能にする。連続クローズドセルガスケットは、レンズフレームと天井インターフェースをシールします。

典型的な用途

半導体フォトリソグラフィールーム感光性医薬品化合物ナノテクノロジー研究クリーンルーム感光コーティングおよび組立領域

技術的なパラメータ

凹んだ琥珀色クリーンルーム LED 照明器具の典型的な構造値は以下の通りです。

コア材料琥珀色 LED アレイ、密封された光学レンズと閉じたセルガスケットを備えた溶接鋼製ハウジング
パネルの厚さ70 — 140 mm の凹んだハウジングの深さ
有効幅300 — 600 mm 治具幅
最大長さ最大 1200 mm の治具長さ
鋼鉄の厚さを直面する0.9 — 1.2mm の鋼鉄ハウジングおよびステンレスドアフレーム
コア密度光学ポリマーレンズ材料 1200 — 1400 kg / m3
熱伝導率光学ポリマーレンズ用 0.19 — 0.24 W / (m · K)
表面仕上げブラシ付きステンレスドアフレームと滑らかな琥珀レンズを備えた白い粉末コーティングハウジング
ジョイントタイプ連続ガスケット、捕獲ファスナーおよびグリッドまたはフランジの天井インターフェースが付いている溶接された凹入エンクロージャ
カスタマイズ意図したアプリケーションと動作環境に基づいて利用できます。

利用可能なオプション

570 nm 蛍光体変換または 590 nm ネイティブアンバー LED1 x 4, 2 x 2 and 2 x 4 formatsGrid or flange ceiling mountingTop-access or room-side service configuration

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