Vacuum pressure controller complete three-quarter view with local HMI, capacitance sensor, motorized throttle valve and process-to-pump flanges

Sistem Utilitas Cleanroom

Kontrol Tekanan Vakum (Vacuum Pressure Controller)

Paket loop tertutup terkoordinasi yang membaca tekanan absolut dari sensor kapasitansi dan memodulasi katup throttle stainless bermotor antara proses dan pompa, dengan HMI lokal, I / O jarak jauh dan komunikasi yang dapat dipilih.

Umpan balik sensor kapasitansi dengan HMI setpoint lokal
Katup throttle hilir bermotor antara proses dan pompa
0.1 - 1000 rentang aplikasi yang dapat dipilih Torr dengan I / O jarak jauh

Permintaan untuk kutipan Browse Produk

Perkenalan produk

Vacuum Pressure Controller adalah paket pengaturan tekanan yang lengkap untuk ruang yang dievakuasi, alat atau proses utilitas bersih. Konfigurasi katalog terkunci menggabungkan satu pengendali / HMI panel-gaya, satu sensor vakum kapasitansi sisi proses, satu katup throttle kupu-kupu stainless, satu aktuator / modul kontrol listrik proporsional, dua antarmuka vakum berlawanan dan daya terorganisir, sensor, katup dan kabel komunikasi pada satu basis pemasangan rendah. Sensor mengembalikan sinyal tekanan absolut ke pengontrol; pengontrol membandingkannya dengan setpoint lokal atau jarak jauh dan terus mengubah konduktivitas katup ke arah pompa. Arsitektur ini mendukung kontrol tekanan hilir yang stabil tanpa mengubah feed gas hulu. Ini bukan pengukur vakum hanya baca, katup isolasi manual atau ID 1926' lemari pemantauan kualitas udara terkompresi, dan tidak mengukur minyak, partikel, titik embun atau kemurnian.

Fitur utama:

Kontrol loop tertutup mengkoordinasikan penginderaan tekanan, perbandingan setpoint dan gerakan katup proporsional dalam satu paket fungsional

HMI yang diterangi secara lokal memberikan tekanan langsung, setpoint, status katup dan visibilitas alarm pada peralatan

Sensor kapasitansi sisi proses mengukur tekanan absolut secara independen dari sebagian besar perubahan gas-spesies dalam rentang yang dipilihnya.

Katup throttle kupu-kupu bermotor bervariasi konduktivitas pompa bukannya berulang kali beralih pompa vakum pada dan off

Flensa proses dan pompa yang terpisah membuat arah aliran dan batas pemasangan yang jelas untuk commissioning dan layanan

Komunikasi analog, digital atau jaringan yang dapat dipilih mendukung setpoint jarak jauh, umpan balik status, interlock, dan kontrol resep

Penyetelan PI / PID dapat dicocokkan dengan volume ruang, beban gas, konduktivitas katup dan respons pompa untuk mengurangi overshoot dan berburu

Basis stainless yang kompak menjaga pengontrol, katup dan hubungan sensor tetap sementara memungkinkan routing bersih kabel daya dan sinyal

Kekhawatiran produk pelanggan

Sebuah loop kontrol tekanan dapat menampilkan pembacaan yang valid namun tetap tidak stabil jika rentang sensor, konduktivitas katup, kecepatan pompa, arah kontrol atau kabel sinyal tidak cocok.

Pengukur hanya baca melaporkan tingkat vakum tetapi tidak dapat memperbaiki drift tekanan ketika beban gas atau konduktivitas pompa berubah.Gunakan loop umpan balik lengkap sehingga pengontrol membandingkan tekanan aktual dengan setpoint dan terus-menerus memerintahkan katup throttle proporsional.

Sebuah sensor dengan jangkauan skala penuh yang terlalu tinggi memberikan resolusi yang dapat digunakan yang buruk di sekitar setpoint operasi yang rendah.Pilih kapasitansi-manometer skala penuh yang kurung rentang resep normal dan cadangan headroom yang memadai untuk transien dan ventilasi logika.

Katup yang terlalu besar dapat membuat perubahan posisi kecil terlalu agresif, menyebabkan berburu dan berulang kali overshoot.Ukuran katup dan perangkat keras yang membatasi konduktivitas terhadap beban gas, volume ruang dan kecepatan pompa efektif sebelum menyetel loop PI / PID.

Pemasangan sensor di belakang katup throttle dapat membuat pengontrol mengatur tekanan sisi pompa bukan volume proses yang dikendalikanTempatkan sensor di sisi proses dengan koneksi bersih pendek dan menetapkan proses dan pompa flens dengan benar selama instalasi.

Kebisingan listrik atau skala 0 - 10 V yang salah dapat membuat sinyal tekanan yang masuk akal tetapi salah.Gunakan routing sinyal terlindung, grounding umum, pemetaan skala penuh yang diverifikasi dan cek nol sebelum mengaktifkan gerakan katup otomatis.

Kehilangan daya atau komunikasi dapat meninggalkan posisi katup yang tidak terdefinisi dan mengganggu proses yang sensitif.Tentukan posisi kegagalan yang diperlukan, penguncian kabel dan urutan pemulihan, kemudian uji dengan peralatan pompa dan proses yang sebenarnya.

Aplikasi yang Tipis

Deposisi semikonduktor, etch dan proses vakum tekanan stabilisasiPengeringan vakum farmasi dan pengolahan tekanan rendah terkontrolRuang laboratorium, kotak sarung tangan dan peralatan vakum skala pilotPelapisan optik, perawatan plasma dan alat proses film tipisPengeringan bahan baterai, degassing dan kandang vakum yang dikendalikanPeralatan Cleanroom yang membutuhkan kontrol tekanan absolut hilir berbasis resep

Parameter teknis

Dasar katalog adalah satu paket panel loop tertutup kelas MKS 640A / Type 250E menggunakan pengontrol / HMI lokal, input kapasitansi-manometer sisi proses dan katup kupu-kupu hilir stainless bermotor. Rentang aplikasi yang dapat dipilih adalah 0,1 - 1000 Torr di seluruh konfigurasi sensor dan katup yang cocok; kontribusi pengontrol konservatif + / -0,5% dari skala penuh yang dikonfigurasi digunakan, sementara akurasi loop yang terpasang dan respon tetap tergantung pada sensor, katup, beban gas, volume ruang dan pompa yang dipesan. Sinyal kontrol standar adalah 0 - 10 VDC, dengan daya aktuator / controller 24 VDC atau panel pasokan AC-fed dan I / O analog, digital atau industri-jaringan yang dapat dipilih.

Bahan inti	Katup dan bagian sensor tahan karat AISI 316L-class, perumahan elektronik aluminium anodized, dan penyegelan elastomer yang dipilih proses
Ketebalan Panel (Panel Thickness)	2.0 mm nominal panel pemasangan stainless atau pelat dasar untuk perakitan pengendali yang dikemas
Efektif lebar	80 mm nominal DN80 hilir throttle-valve bore dalam konfigurasi yang diilustrasikan
Panjang maksimum	Hingga 500 mm amplop paket proses-ke - pompa perwakilan sebelum kabel lapangan eksternal
Baja menghadap ketebalan	0 mm menghadap baja terpisah; perangkat keras aliran vakum menggunakan komponen stainless machined yang solid
Kepadatan inti (core density)	Kira-kira 8000 kg / m3 kepadatan perwakilan untuk AISI 316L stainless vacuum hardware
Konduktivitas Termal (Thermal Conductivity)	Sekitar 15 W / (m · K) dekat 20 ° C untuk komponen stainless AISI 316L perwakilan
Permukaan selesai	Katup stainless netral-perak alami dan permukaan sensor dengan wajah penyegelan mesin; pengontrol dilapisi biru-abu - gelap dan perumahan aktuator
Jenis Bersama	Dua antarmuka flensa vakum ISO-F DN80 yang berlawanan untuk proses dan koneksi pompa, dengan sensor yang disegel terpisah dan konektor listrik
Customization (Kustomisasi)	Tersedia berdasarkan aplikasi yang dimaksudkan dan lingkungan operasi.

Pilihan yang tersedia

Kapasitansi-manometer skala penuh yang dipilih di sekitar setpoint kontrol normalArsitektur kontrol katup proporsional hulu atau katup throttle hilirDN40, DN63, DN80 atau koneksi vakum berukuran aplikasi dan konduktivitas katupFKM, FFKM atau senyawa segel alternatif yang memenuhi syarat untuk prosesPanel lokal HMI, pengontrol rak jarak jauh atau format pengontrol katup terintegrasi0-10 V analog, digital I / O, RS232, RS485, Ethernet atau komunikasi fieldbus industri yang dipilihBiasanya terbuka, biasanya tertutup atau didukung strategi kegagalan posisi di mana didukungBasis stainless prewired, kandang atau integrasi peralatan-frame dengan terminal lapangan berlabel

Merencanakan spesifikasi Vacuum Pressure Controller?

Kirimkan kami dimensi Anda, kondisi instalasi, target kinerja dan permukaan akhir yang diperlukan.

Bicaralah dengan tim kami