Tiếng Anh
Tiếng Đức, tiếng Đức
Tiếng Ả Rập, tiếng Ả Rập
Tiếng Pháp, tiếng Pháp
Tiếng Indonesia (tiếng Việt)
Tiếng Nhật
Tiếng Hàn / tiếng Hàn
Tiếng Mã Lai
Tiếng Bồ Đào Nha, tiếng Bồ Đào Nha
Tiếng Nga, tiếng Nga
Tiếng Tây Ban Nha, tiếng Tây Ban Nha
Tiếng Thái (tiếng Thái)
Tiếng Thổ Nhĩ Kỳ, tiếng Thổ Nhĩ Kỳ
Tiếng Việt / tiếng ViệtHiện tại
Bộ lọc không khí và lọc hóa học
Bộ lọc AMC cho phòng sạch bán dẫn
A low-outgassing pleated molecular panel formulated to control airborne acids, bases, VOCs or selected dopants in semiconductor cleanrooms and process equipment.
- Semiconductor AMC Control
- Low-Outgassing Components
- Targeted Pleated Adsorbents
- FFU-Compatible Panel
Giới thiệu Sản phẩm
The AMC filter for semiconductor cleanrooms embeds activated carbon, ion-exchange resin or chemically modified adsorbent within a clean pleated support. The resulting panel provides substantially more active area than a flat granular screen while keeping the shallow depth required by fan filter units, return-air modules and process tools. Different media layers can target volatile organics, acids, bases or selected dopant compounds. Low-outgassing frame, separator, gasket and potting materials help the finished filter operate near contamination-sensitive wafer, display and storage processes.
Các tính năng chính
Media chemistry can be selected for VOC, acid, base or dopant contamination rather than using one universal carbon grade.
Low-outgassing support and frame materials reduce the filter assembly's own contribution to the clean environment.
Clean retaining layers limit adsorbent particle shedding toward downstream HEPA or ULPA media.
Các mối quan tâm về sản phẩm của khách hàng
Molecular contamination can alter wafer surfaces or corrode process hardware even when the cleanroom already meets its particulate classification.
Particle filters do not remove airborne acids, bases or volatile organic molecules.Embedded molecular adsorbents capture or react with the selected gas family before it reaches the process.
One broad-spectrum carbon grade cannot address multiple semiconductor AMC groups equally.Separate acid, base, VOC and dopant media layers can be arranged for the identified contaminant profile.
Loose chemical pellets shed dust toward a downstream ULPA terminal.Pleated embedded media and clean support scrims contain the adsorbent within the panel structure.
A deep chemical bed will not fit an FFU or process-tool return module.The high-area pleated panel provides a compact AMC stage in standard shallow cleanroom dimensions.
Các ứng dụng điển hình
Semiconductor wafer cleanroomsLithography and coating process toolsFlat-panel and OLED manufacturingChemical-sensitive storage cabinetsFFU and recirculation-air AMC stages
Thông số kỹ thuật
Typical construction ranges for a low-outgassing semiconductor AMC panel are listed below.
| Vật liệu lõi | Pleated activated-carbon, ion-exchange or chemically impregnated adsorbent embedded in a low-outgassing support |
|---|---|
| Độ dày bảng điều khiển | 25–100 mm overall cleanroom-panel depth |
| Chiều rộng hiệu quả | Chiều rộng mặt danh nghĩa 305 - 610 mm |
| Chiều dài tối đa | Chiều dài mặt danh nghĩa lên đến 1220 mm |
| Thép đối mặt với độ dày | 0.4–0.6 mm low-shedding stainless or coated retaining grid when specified |
| Mật độ lõi | Approximately 60–180 kg/m³ equivalent embedded-adsorbent media density |
| Độ dẫn nhiệt | Approximately 0.040–0.090 W/(m·K) for the dry pleated adsorbent composite |
| Kết thúc bề mặt | Natural anodized aluminium or clean low-outgassing polymer frame |
| Loại khớp nối | Flat gasket, gel-compatible perimeter or clip-in FFU cassette connection |
| Tùy chỉnh | Có sẵn dựa trên ứng dụng dự định và môi trường hoạt động. |
Các tùy chọn có sẵn
VOC-targeted activated carbonAcid-gas chemisorption mediaAmmonia and amine ion-exchange mediaSingle-layer or multi-layer AMC cassette
Planning a AMC Filter for Semiconductor Cleanrooms specification?
Gửi cho chúng tôi kích thước của bạn, điều kiện lắp đặt, mục tiêu hiệu suất và bề mặt yêu cầu hoàn thiện.
