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Cleanroom Utility Systemen
Dry Gas Scrubber
Point-of - Use Trockenbetten-Chemisorptionsschrank mit versiegelten Edel-Absorber - Säulen, gasspezifischen anorganischen Medien, Backup-Kapazität und überwachten Reinigungs - und Abgas-Schnittstellen.
- Umgebungstemperatur-irreversible Chemisorption
- Gasspezifische auffüllbare Edelstoffabsorbersäulen
- Backup-Kapazität mit überwachten Purge - und Endpunktfunktionen
Produkteinführung
Der Dry Gas Scrubber entfernt ausgewählte gefährliche Prozessgase, indem er den Abgas bei Umgebungstemperatur durch ein spezielles anorganisches Chemisorberbett leitet. Kompatible Gasarten reagieren irreversibel mit dem ausgewählten Granulat und bleiben als stabile feste Produkte in versiegelten 316L Edelstahl-Absorber - Säulen. Der gezeigte Produktionsschrank verwendet zwei vollgroße Säulen und eine kleinere Backup-Säule, so dass eine kontrollierte Sequenz ein Bett isolieren, reinigen und warten kann, während ein sicherer Zustand erhalten bleibt. Temperatur, Druck, Ventilposition und optionale Endpunkterkennung verbinden sich mit der lokalen Steuerung. Die Sorbentchemie, die Kapazität, die Anordnung der Säulen, die Reinigungsmethode und die Wechselkriterien werden aus dem vollständigen Prozessgasinventar und dem Abgasprofil definiert.
Key Features
Umgebungstemperaturbetrieb vermeidet eine kontinuierlich beheizte Reaktionskammer für geeignete Gase
Gasspezifisches anorganisches Medium wird für die eigentliche Prozessrezeptur ausgewählt, anstatt als universelles Bett verwendet
Nachfüllbare 316L Edelstahlsäulen bieten ein versiegeltes und wiederverwendbares Behälterpaket
Integrierte Säulenventile isolieren das abgelaufene Bett vor dem Trennen und Handhabung
Eine dedizierte Backup-Säule unterstützt die kontrollierte Fertigstellung oder den Übergang, nachdem die Kapazität des Primärbetts erreicht ist
Unabhängige Temperatur - und Durchbruchüberwachung kann abnormale Belastungen oder nähernden Endpunkten erkennen
Automatisierte inerte Reinigungs - und Leck-Check - Routinen unterstützen eine sicherere Vorbereitung des Kolumnenwechsels
Unterdrucksteuerung begrenzt den Rückdruck an angeschlossenen Prozessabgasen
Lokale HMI, Ereignisprotokolle und Remote-Schnittstellen sorgen für einen klaren Betriebs - und Wartungsstatus
Kunden Produktbedenken
Die Trockenbett-Auswahl kann nicht von der Prozessrezept getrennt werden. Medienkompatibilität, Reaktionswärme, Trägerstrom, Feststoffbildung, Druckverhalten, Endpunktmethode und sichere Kolonnewechsel erfordern eine anwendungsspezifische Überprüfung.
Ein generisches Sorbent kann für ein neu eingeführtes Gas geringe Kapazität oder ein unsicheres Reaktionsprofil aufweisen.Einreichen Sie das komplette Prozessrezept, maximale Gasströme und Trägerströme, damit die Medienformulation und die Säulengröße zusammen ausgewählt werden.
Eine konzentrierte vorübergehende Freisetzung kann Wärme schneller erzeugen, als das Bett sie zerstreuen kann.Bewerten Sie glaubwürdige Spitzenbelastungen und bieten Sie bei Bedarf eine Überwachung der Säulentemperatur, Durchflusskontrolle, Backup-Kapazität und kompatible inerte Kühlung.
Durchbruch kann ohne sichtbare Veränderung im Schrank oder ein nützliches Druckfallsignal auftreten.Verwenden Sie einen kompatiblen Endpunkt-Sensor oder ein validiertes Kapazitätsmodell und definieren Sie einen konservativen Changeout-Trigger aus der tatsächlichen Prozessnutzung.
Prozessablagerungen können sich in den Einlassleitungen ansammeln, bevor das Gas das Absorberbett erreichtÜberprüfen Sie die Abgastemperatur, Verdünnung, Liniengeometrie und den Wartungszugriff, damit kondensierbare oder reaktive Nebenprodukte den Einlass nicht behindern.
Das Öffnen einer Säulenverbindung vor der Isolierung und der Säuberung kann das Personal dem Restprozessgas aussetzen.Verriegeln Sie integrierte Ventile, bestätigen Sie den Negativdruck, absolvieren Sie die angegebene Inertspülung und überprüfen Sie vor dem Trennen die sicheren Bedingungen.
Eine Strom - oder Anlagenunterbrechung kann einen aktiven Prozess ohne den erwarteten Abgasweg verlassen.Definieren Sie ausfallsichere Ventilzustände, passive Absorptionswege, Backup-Bett und Werkzeug-Ausschaltschnittstelle für jedes Verlust-of - Nutzen-Szenario.
Typische Anwendungen
Compound-Semiconductor MOCVD-Abgas mit charakterisierten Hydrid - und metallorganischen SpeziesHalbleiter-Plasma - Ätz, Ablagerung, Kammerreinigung und Ionen-Implantat - UnterstützungsverfahrenPhotovoltaik - und Display-Herstellungsprozesse unter Verwendung kompatibler GefahrgaseForschungs - und Pilot-Tools, die eine passive Punkt-of - Use-Behandlung zwischen Betriebskampagnen erfordernSpezialchemische Prozesse, bei denen eine validierte Trockenchemisorberformulation verfügbar ist
Technische Parameter
Die gezeigte Basis ist ein Doppel-Hauptsäulen - Trockensubschrank von ca. 1200 mm Breite, 900 mm Tiefe und 2050 mm Höhe, mit zwei vollgroßen 316L-Absorbersäulen, einer kleineren Backup-Säule, integrierten Isolierventilen und einer oberen Steuerscheibe. Die Site' Das feste Zehnreihe-Schema verwendet panel-orientierte Etiketten; Panel Thick bedeutet daher Schranktiefe, während Dichte und Leitfähigkeit die rostfreie Säulenhülle eher als proprietäres Sorbents beschreiben. Die Gasfamilie, die Medienformulation, die nutzbare Kapazität, der Reinigungsfluss, der Endpunktsensor und die Sicherheitslogik bleiben anwendungsorientiert.
| Core Material | Nachfüllbare 316L Edelstahl-Absorber - Säulen, die gasspezifisches nicht-kohlenstoff - anorganisches Chemisorber Granulat enthalten |
|---|---|
| Panel Dicke | 900 mm repräsentative Gesamtschranktiefe einschließlich Innensäule und Ventilhülle |
| Effektive Breite | 1200 mm repräsentative Doppel-Hauptsäulen - Schrankbreite ohne Servicefreiheit |
| Maximale Länge | 2050 mm repräsentative Gehäusehöhe ohne Standort-Abgas - und Reinigungsanschlüsse |
| Stahl facing Dicke | 1.5 mm nominal pulverbeschichtete Schrankplatten um getrennte Druckhaltende Edelstahlsäulen |
| Kerndichte | Etwa 7900 kg / m3 repräsentative Dichte für die 316L-Edelstahl-Absorber - Kolonne-Gehäuse |
| Thermische Leitfähigkeit | Ungefähr 15 W / (m · K) nahe Raumtemperatur für repräsentativen Edelstahl 316L |
| Oberfläche Finish | Warmes hellgraues pulverbeschichtetes Schrank mit natürlichen silbernen Edelsäulen, dunklem HMI und farbcodierten Statusanzeigen |
| Gemeinsamer Typ | Integrierte Säulen-Isolierventile mit dichteten Edelbellen, Spülbaugruppen und flanschierten Prozess-Abgasanschlüssen |
| Customisierung | Verfügbar je nach beabsichtigter Anwendung und Betriebsumgebung. |
Verfügbare Optionen
Einzel -, Dual - oder Dual-Main - Plus-Backup - Absorber-Säulen - AnordnungChemisorber-Medium ausgewählt für die charakterisierte Gasfamilie und ProzessrezepturInfrarot - oder Kontakttemperaturüberwachung jeder aktiven SäuleKompatibler Endpunktdetektor und automatischer Bettwechsel AlarmInertgasreinigung, Leck-Check und KühlsequenzenKontrollierte Vakuum - oder AbgasdruckregelungTouchscreen-HMI, Ereignisprotokoll und Remote-Industrial - KommunikationWerkzeug zulässige, Fehler -, Alarm - und NotfallschaltflächenAlternative kompakte Labor - oder Hochfluss-Produktionsschrankgröße
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